Revestimento SiC/substrato/bandeja de grafite revestido para semicondutores

Revestimento SiC / Substrato / Bandeja de Grafite Revestida para Semicondutores Imagem em Destaque

Breve descrição:

O susceptor de grafite revestido com SiC VET Energy para crescimento epitaxial é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um período prolongado. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.

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Revestimento/revestido de SiC de susceptor de grafite para semicondutores

OSubstrato de grafite revestido com SiCé uma solução altamente durável e eficiente projetada para atender às rigorosas demandas da indústria de processamento de semicondutores. Apresentando uma camada de alta purezarevestimento de carboneto de silício (SiC), esse substrato oferece excepcional estabilidade térmica, resistência à oxidação e vida útil prolongada, tornando-o ideal para aplicações em processos MOCVD, transportadores de wafer de grafite e outros ambientes de alta temperatura.

Características:
· Excelente resistência ao choque térmico
· Excelente resistência ao choque físico
· Excelente resistência química
· Pureza Super Alta
· Disponibilidade em formato complexo
·Utilizável sob atmosfera oxidante

Aplicativo:

Características e vantagens do produto:

1. Resistência térmica superior:Com alta purezaRevestimento de SiC, o substrato resiste a temperaturas extremas, garantindo desempenho consistente em ambientes exigentes, como epitaxia e fabricação de semicondutores.

2. Maior durabilidade:Os componentes de grafite revestidos com SiC são projetados para resistir à corrosão e oxidação química, aumentando a vida útil do substrato em comparação com substratos de grafite padrão.

3. Grafite com revestimento vítreo:A estrutura vítrea única doRevestimento de SiCfornece excelente dureza superficial, minimizando o desgaste durante o processamento em alta temperatura.

4. Revestimento SiC de alta pureza:Nosso substrato garante contaminação mínima em processos sensíveis de semicondutores, oferecendo confiabilidade para indústrias que exigem pureza rigorosa de materiais.

5. Ampla aplicação no mercado:OSusceptor de grafite revestido com SiCO mercado continua a crescer à medida que aumenta a demanda por produtos avançados revestidos de SiC na fabricação de semicondutores, posicionando este substrato como um player-chave tanto no mercado de transportadores de wafer de grafite quanto no mercado de bandejas de grafite revestidas com carboneto de silício.

Propriedades típicas do material base de grafite:

Densidade Aparente:	1,85g/cm3
Resistividade Elétrica:	11 μΩm
Força Flexural:	49MPa (500kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinzas:	<5 ppm
Condutividade Térmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β da FCC
Densidade / Densidade	3,21g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de Calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700°C
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / Condutividade Térmica	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy é o verdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer várias peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a descolamento.

Calorosamente bem-vindo para visitar nossa fábrica, vamos discutir mais!