Gaveta longa da bolacha do carboneto de silicone da vida útil com revestimento SiC

Breve descrição:

O cassete wafer de carboneto de silício VET Energy com revestimento SiC é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.


Detalhes do produto

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Propriedades do carboneto de silício recristalizado

O carboneto de silício recristalizado (R-SiC) é um material de alto desempenho com dureza inferior apenas ao diamante, que é formado em altas temperaturas acima de 2.000 ℃. Ele retém muitas propriedades excelentes do SiC, como resistência a altas temperaturas, forte resistência à corrosão, excelente resistência à oxidação, boa resistência ao choque térmico e assim por diante.

● Excelentes propriedades mecânicas. O carboneto de silício recristalizado tem maior resistência e rigidez do que a fibra de carbono, alta resistência ao impacto, pode desempenhar um bom desempenho em ambientes de temperaturas extremas e pode desempenhar um melhor desempenho de contrapeso em uma variedade de situações. Além disso, também possui boa flexibilidade e não se danifica facilmente por alongamento e flexão, o que melhora muito seu desempenho.

● Alta resistência à corrosão. O carboneto de silício recristalizado tem alta resistência à corrosão em uma variedade de meios, pode prevenir a erosão de uma variedade de meios corrosivos, pode manter suas propriedades mecânicas por um longo tempo, tem uma forte adesão, de modo que tem uma vida útil mais longa. Além disso, também possui boa estabilidade térmica, pode se adaptar a uma determinada faixa de mudanças de temperatura, melhorando seu efeito de aplicação.

● A sinterização não encolhe. Como o processo de sinterização não encolhe, nenhuma tensão residual causará deformação ou rachadura no produto, e peças com formatos complexos e alta precisão podem ser preparadas.

重结晶碳化硅物理特性

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado

性质 / Propriedade

典型数值 / Valor típico

使用温度/ Temperatura de trabalho (°C)

1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)

SiC含量/conteúdo SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Conteúdo Si grátis

<0,1%

体积密度/Densidade aparente

2,60-2,70g/cm3

气孔率/ Porosidade aparente

<16%

抗压强度/ Força de compressão

> 600MPa

常温抗弯强度/Resistência à flexão a frio

80-90MPa (20°C)

高温抗弯强度Resistência à flexão a quente

90-100MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Expansão térmica @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Condutividade térmica @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Módulo elástico

240 GPa

抗热震性/ Resistência ao choque térmico

Extremamente bom

A Energia EFP é overdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com revestimento CVD,pode fornecerváriospeças customizadas para indústria de semicondutores e fotovoltaica. Osua equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais, pode fornecer soluções de materiais mais profissionaispara você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados,edesenvolveram uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa ao desprendimento.

DCV SiC薄膜基本物理性能

Propriedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento

性质 / Propriedade

典型数值 / Valor típico

晶体结构 / Estrutura Cristalina

Fase β do FCC多晶, 主要为(111)取向

密度 / Densidade

3,21g/cm³

硬度 / Dureza

2500 unidades (carga de 500g)

晶粒大小 /Tamanho do grão

2~10μm

纯度 / Pureza Química

99,99995%

热容 / Capacidade de calor

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de Sublimação

2700°C

抗弯强度 / Resistência à flexão

415 MPa RT de 4 pontos

杨氏模量 / Módulo de Young

Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / TermaeuCondutividade

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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