Anel de grafite revestido de carboneto de silício CVD

Breve descrição:

O anel de grafite revestido com carboneto de silício VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.

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Detalhes do produto

Etiquetas de produto

Propriedades típicas do material base de grafite:

Densidade Aparente:	1,85g/cm3
Resistividade Elétrica:	11 μΩm
Força Flexural:	49MPa (500kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinzas:	<5 ppm
Condutividade Térmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Fornecemos vários susceptores e componentes de grafite para todos os reatores de epitaxia atuais. Nossos produtos incluem susceptores de barril para unidades LPE, susceptores tipo panqueca para unidades LPE, CSD e Gemini, e susceptores de wafer único para unidades aplicadas e ASM.

Ao combinar parcerias sólidas com OEMs líderes, experiência em materiais e know-how de fabricação, a vet oferece o design ideal para sua aplicação.

A Energia EFP é overdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com revestimento CVD,pode fornecerváriospeças customizadas para indústria de semicondutores e fotovoltaica. Osua equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais, pode fornecer soluções de materiais mais profissionaispara você.

Fcaracterísticas de nossos produtos:

1. Resistência à oxidação em altas temperaturas até 1700℃.
2. Alta pureza euniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e mais durável

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 /Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700°C
抗弯强度 / Resistência à flexão	415 MPa RT de 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1