Energia EFPO barco de grafite PECVD para células solares é um consumível central projetado para o processo PECVD (deposição química de vapor aprimorada por plasma) de células solares. O barco de grafite é feito de grafite isostática de alta pureza com porosidade inferior a 15% e rugosidade superficial de Ra≤1,6μm. Possui excelentes propriedades, como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e estabilidade dimensional. Excelente estabilidade dimensional e condutividade térmica garantem a deposição uniforme do filme e melhoram a eficiência da bateria. Ele pode fornecer um transportador estável em um ambiente PECVD de alta temperatura e alta pressão para garantir deposição uniforme e alta qualidade de filmes de células solares.
Material de grafite da SGL:
Parâmetro típico: R6510 | |||
Índice | Padrão de teste | Valor | Unidade |
Tamanho médio de grão | ISO 13320 | 10 | μm |
Densidade aparente | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Porosidade aberta | DIN66133 | 10 | % |
Tamanho de poro médio | DIN66133 | 1,8 | μm |
Permeabilidade | RUÍDO 51935 | 0,06 | cm²/s |
Dureza Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Resistividade elétrica específica | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Resistência à flexão | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Resistência à compressão | RUÍDO 51910 | 130 | MPa |
Módulo de Young | RUÍDO 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Expansão térmica (20-200°C) | RUÍDO 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Condutividade térmica (20℃) | RUÍDO 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ele foi projetado especificamente para fabricação de células solares de alta eficiência, suportando processamento de wafer de grande porte G12. O design otimizado do transportador aumenta significativamente o rendimento, permitindo taxas de rendimento mais altas e custos de produção mais baixos.
Item | Tipo | Porta-wafer numérico |
Barco PEVCD Grephite - Série 156 | Barco de grafite 156-13 | 144 |
Barco de grafite 156-19 | 216 | |
Barco de grafite 156-21 | 240 | |
Barco de grafite 156-23 | 308 | |
Barco PEVCD Grephite - Série 125 | Barco de grafite 125-15 | 196 |
Barco de grafite 125-19 | 252 | |
Barco grafite 125-21 | 280 |