Susceptor de placa revestida com CVD TaC

Breve descrição:

O susceptor de placa revestido VET Energy CVD TaC é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.


Detalhes do produto

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OCVD TaC revestidoO Plate Susceptor da vet-china foi projetado para alto desempenho em processos de deposição química de vapor (CVD). Este susceptor apresenta um robustoRevestimento TaC (carboneto de tântalo), oferecendo excepcional estabilidade térmica, resistência química e durabilidade, tornando-o uma solução ideal para fabricação de semicondutores e aplicações de alta temperatura. ORevestimento CVD TaCgarante excelente resistência à oxidação e ao desgaste, permitindo que o susceptor mantenha sua integridade e função em ambientes agressivos.

veterinária da ChinaCVD TaC revestidoO Plate Susceptor se destaca por sua capacidade de distribuir uniformemente o calor durante os processos CVD, garantindo a deposição precisa da camada e aumentando a eficiência da fabricação de semicondutores. O revestimento Ta-C fornece proteção adicional contra corrosão química, prolongando a vida útil do susceptor e melhorando o desempenho geral. Com uma combinação de tecnologia avançada de susceptor CVD e revestimentos químicos TaC de alta qualidade, este susceptor é um componente chave para indústrias que exigem precisão e confiabilidade em ambientes de alta temperatura.

Quer seja utilizado na produção de semicondutores ou em outras aplicações de alta tecnologia, oSusceptor de placa revestida CVD TaCfoi projetado para atender às demandas da fabricação moderna. Apoiado pela reputação de inovação e qualidade da Semicera, este produto oferece desempenho superior e durabilidade duradoura, tornando-o uma escolha confiável para processos de DCV.

O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode chegar a 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode efetivamente reduzir o desgaste e danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: O revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

Revestimento TaC 13
Revestimento TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propriedades físicas de TaC revestimento

密度/ Densidade

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emissividade específica

0,3

热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2.000 Hong Kong

电阻 / Resistência

1x10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Estabilidade térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Mudanças no tamanho do grafite

-10~-20um

涂层厚度 / Espessura do revestimento

≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia que abrangem grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

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