Susceptor de wafer com revestimento TaC para G5 G10

Breve descrição:

O susceptor VET Energy Wafer com revestimento TaC para G5 G10 é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.


Detalhes do produto

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O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode chegar a 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode efetivamente reduzir o desgaste e danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: O revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

Revestimento TaC 16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propriedades físicas de TaC revestimento

密度/ Densidade

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emissividade específica

0,3

热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2.000 Hong Kong

电阻 / Resistência

1x10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Estabilidade térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Mudanças no tamanho do grafite

-10~-20um

涂层厚度 / Espessura do revestimento

≥20um valor típico (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia que abrangem grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

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