Susceptor de wafer com revestimento TaC para G5 G10

Pequena descrição:

A Semicera lidera a indústria de semicondutores com uma linha inovadora de produtos de carboneto de tântalo (TaC) para atender aos requisitos cada vez mais rigorosos do processo de semicondutores.Seja enfrentando temperaturas de processo epitaxiais superiores a 2.000 graus Celsius ou problemas de sublimação com materiais tradicionais, nosso carboneto de tântalo CvD (TaC) oferece uma solução confiável.Nossos produtos podem suportar temperaturas extremas de até 2.300 graus Celsius e proporcionar excelente vida útil.Ao entrar em contato com a Semicera, você poderá saber mais sobre nossas soluções avançadas, incluindo opções personalizadas para placas de cobertura revestidas com carboneto de tântalo.Temos o compromisso de fornecer proteção confiável e excelente desempenho para o seu processo de semicondutores para ajudá-lo a ter sucesso no mercado altamente competitivo.

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Detalhes do produto

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O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode chegar a 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode efetivamente reduzir o desgaste e danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: O revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriedades físicas de TaC Revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
电阻 / Resistência	1x10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia que abrangem grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante.Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

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