د VET انرژي PECVD بار کولو ټری یو دقیق کیریر دی چې د PECVD (پلازما وده شوي کیمیاوي بخار جمع کولو) پروسې لپاره ډیزاین شوی. دا د لوړ کیفیت ذخیره کولو ګرافائٹ ټری د لوړ پاکوالي ، لوړ کثافت ګرافیټ موادو څخه جوړ شوی. دا د لوړې تودوخې مقاومت، د سناریو مقاومت، ابعادي ثبات او نور ځانګړتیاوې لري. دا کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته کیریر پلیټ فارم چمتو کړي او د فلم زیرمه کولو یوشانوالی او فلیټیت ډاډمن کړي.
د VET انرژي PECVD بار کولو ټری په پراخه کچه په سیمیکمډکټر ، فوټوولټیک ، LED او نورو برخو کې کارول کیږي. د مثال په ډول:
▪ سیمیک کنډکټر: د PECVD پروسه د سیمیکمډکټر موادو لپاره لکه سیلیکون ویفرونه او ایپیټیکسیل ویفرونه.
▪ فوټوولټیک: PECVD پروسه د لمریز حجرو پتلی فلمونو لپاره.
▪ LED: د LED چپس لپاره د PECVD پروسه.
د محصول ګټې
▪د فلم کیفیت ښه کول:د یونیفورم فلم ذخیره کول ډاډمن کړئ او د فلم کیفیت ښه کړئ.
▪د تجهیزاتو ژوند پراخ کړئ:د ښه سنکنرن مقاومت، د PECVD تجهیزاتو د خدمت ژوند پراخوي.
▪د تولید لګښتونه کم کړئ:د لوړ کیفیت ګرافیت ټری کولی شي د سکریپ نرخ کم کړي او د تولید لګښتونه کم کړي.
د SGL څخه ګرافیت مواد:
| عام پیرامیټر: R6510 | |||
| شاخص | د ازموینې معیار | ارزښت | واحد |
| د غنمو منځنۍ اندازه | ISO 13320 | 10 | μm |
| بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| خلاص porosity | DIN66133 | 10 | % |
| د منځني سوري اندازه | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| د راک ویل سختۍ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ځانګړی بریښنایی مقاومت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| انعطاف ځواک | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| فشاري ځواک | DIN 51910 | ۱۳۰ | MPa |
| د ځوان ماډل | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| حرارتي توسع (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکتیا (20 ℃) | DIN 51908 | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
دا په ځانګړي ډول د لوړ موثریت سولر سیل تولید لپاره ډیزاین شوی ، د G12 لوی اندازې ویفر پروسس کولو ملاتړ کوي. مطلوب کیریر ډیزاین د پام وړ د تولید کچه ډیروي، د لوړ حاصل نرخ او د تولید ټیټ لګښتونه وړوي.
| توکي | ډول | شمیره ویفر کیریر |
| PEVCD Grephite کشتۍ - د 156 لړۍ | 156-13 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۴۴ |
| 156-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۱۶ | |
| 156-21 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۴۰ | |
| 156-23 ګرافائٹ کشتۍ | ۳۰۸ | |
| PEVCD Grephite کشتۍ - د 125 لړۍ | 125-15 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۹۶ |
| 125-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۵۲ | |
| 125-21 ګرافائٹ کښتۍ | ۲۸۰ |
