د VET انرژی ګرافیت سبسټریټ ویفر هولډر یو دقیق کیریر دی چې د PECVD (پلازما وده شوي کیمیاوي بخار ذخیره کولو) پروسې لپاره ډیزاین شوی. دا د لوړ کیفیت ګرافیت سبسټریټ هولډر د لوړ پاکوالي ، لوړ کثافت ګرافیټ موادو څخه جوړ شوی ، د غوره لوړ تودوخې مقاومت ، د سنکنرن مقاومت ، ابعادي ثبات او نورو ځانګړتیاو سره. دا کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته مالتړ پلیټ فارم چمتو کړي او د فلم زیرمه کولو یووالي او فلیټیت ډاډمن کړي.
د VET انرژي PECVD پروسس ګرافیت ویفر ملاتړ جدول لاندې ځانګړتیاوې لري:
▪لوړ پاکوالی:خورا ټیټ ناپاکۍ مینځپانګه ، د فلم ککړتیا څخه مخنیوی وکړئ ، د فلم کیفیت ډاډمن کړئ.
▪لوړ کثافت:لوړ کثافت، لوړ میخانیکي ځواک، کولی شي د لوړ حرارت او لوړ فشار PECVD چاپیریال سره مقاومت وکړي.
▪ښه ابعادي ثبات:په لوړه تودوخه کې کوچني ابعادي بدلون ، د پروسې ثبات تضمینوي.
▪عالي حرارتي چالکتیا:په مؤثره توګه تودوخه لیږدوي ترڅو د ویفر ډیر تودوخې مخه ونیسي.
▪قوي سنګر مقاومت:کولی شي د مختلف کنسرو ګازونو او پلازما لخوا د تخریب مقاومت وکړي.
▪دودیز خدمت:د مختلف اندازو او شکلونو ګرافیت ملاتړ میزونه د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي.
د محصول ګټې
▪د فلم کیفیت ښه کول:د یونیفورم فلم ذخیره کول ډاډمن کړئ او د فلم کیفیت ښه کړئ.
▪د تجهیزاتو ژوند پراخ کړئ:د ښه سنکنرن مقاومت، د PECVD تجهیزاتو د خدمت ژوند پراخوي.
▪د تولید لګښتونه کم کړئ:د لوړ کیفیت ګرافیت ټری کولی شي د سکریپ نرخ کم کړي او د تولید لګښتونه کم کړي.
د SGL څخه ګرافیت مواد:
عام پیرامیټر: R6510 | |||
شاخص | د ازموینې معیار | ارزښت | واحد |
د غنمو منځنۍ اندازه | ISO 13320 | 10 | μm |
بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
خلاص porosity | DIN66133 | 10 | % |
د منځني سوري اندازه | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
د راک ویل سختۍ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
ځانګړی بریښنایی مقاومت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
انعطاف ځواک | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
فشاري ځواک | DIN 51910 | ۱۳۰ | MPa |
د ځوان ماډل | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
حرارتي توسع (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
حرارتي چالکتیا (20 ℃) | DIN 51908 | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
دا په ځانګړي ډول د لوړ موثریت سولر سیل تولید لپاره ډیزاین شوی ، د G12 لوی اندازې ویفر پروسس کولو ملاتړ کوي. مطلوب کیریر ډیزاین د پام وړ د تولید کچه ډیروي، د لوړ حاصل نرخ او د تولید ټیټ لګښتونه وړوي.
توکي | ډول | شمیره ویفر کیریر |
PEVCD Grephite کشتۍ - د 156 لړۍ | 156-13 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۴۴ |
156-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۱۶ | |
156-21 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۴۰ | |
156-23 ګرافائٹ کشتۍ | ۳۰۸ | |
PEVCD Grephite کشتۍ - د 125 لړۍ | 125-15 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۹۶ |
125-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۵۲ | |
125-21 ګرافائٹ کښتۍ | ۲۸۰ |