د VET انرژي PECVD پروسې ګرافائٹ ویفر ملاتړ د PECVD (پلازما وده شوي کیمیاوي بخار ذخیره) پروسې لپاره ډیزاین شوی اصلي مصرف کونکی دی. دا محصول د لوړ پاکوالي، لوړ کثافت ګرافیت موادو څخه جوړ شوی، د لوړ تودوخې مقاومت، د مقاومت مقاومت، ابعادي ثبات او نورو ځانګړتیاو سره، کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته مالتړ پلیټ فارم چمتو کړي، ترڅو د فلم ذخیره کولو یووالي او فلیټیت ډاډمن کړي.
د VET انرژي ګرافائٹ ویفر ملاتړ ډیزاین "ګرافائٹ ملاتړ" نه یوازې د ویفر ملاتړ کولی شي ، بلکه د لوړې تودوخې او لوړ فشار PECVD چاپیریال کې حرارتي ثبات هم چمتو کوي ترڅو د پروسې ثبات ډاډمن کړي.
د VET انرژي PECVD پروسس ګرافائٹ ویفر ملاتړ لاندې ځانګړتیاوې لري:
▪لوړ پاکوالی:خورا ټیټ ناپاکۍ مینځپانګه ، د فلم د ککړتیا څخه مخنیوی وکړئ ، ترڅو د فلم کیفیت ډاډمن شي.
▪لوړ کثافت:لوړ کثافت، لوړ میخانیکي ځواک، کولی شي د لوړ حرارت او لوړ فشار PECVD چاپیریال سره مقاومت وکړي.
▪ښه ابعادي ثبات:په لوړه تودوخه کې کوچني ابعادي بدلونونه ترڅو د پروسې ثبات یقیني کړي.
▪عالي حرارتي چالکتیا:په مؤثره توګه تودوخه لیږدوي ترڅو د ویفر ډیر تودوخې مخه ونیسي.
▪قوي سنګر مقاومت:د مختلفو کنسرو ګازونو او پلازما لخوا د تخریب مقاومت کولو توان لري.
▪دودیز خدمت:د مختلف اندازو او شکلونو ګرافیت ملاتړ میزونه د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي.
د SGL څخه ګرافیت مواد:
| عام پیرامیټر: R6510 | |||
| شاخص | د ازموینې معیار | ارزښت | واحد |
| د غنمو منځنۍ اندازه | ISO 13320 | 10 | μm |
| بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| خلاص porosity | DIN66133 | 10 | % |
| د منځني سوري اندازه | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| د راک ویل سختۍ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ځانګړی بریښنایی مقاومت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| انعطاف ځواک | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| فشاري ځواک | DIN 51910 | ۱۳۰ | MPa |
| د ځوان ماډل | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| حرارتي توسع (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکتیا (20 ℃) | DIN 51908 | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
دا په ځانګړي ډول د لوړ موثریت سولر سیل تولید لپاره ډیزاین شوی ، د G12 لوی اندازې ویفر پروسس کولو ملاتړ کوي. مطلوب کیریر ډیزاین د پام وړ د تولید کچه ډیروي، د لوړ حاصل نرخ او د تولید ټیټ لګښتونه وړوي.
| توکي | ډول | شمیره ویفر کیریر |
| PEVCD Grephite کشتۍ - د 156 لړۍ | 156-13 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۴۴ |
| 156-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۱۶ | |
| 156-21 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۴۰ | |
| 156-23 ګرافائٹ کشتۍ | ۳۰۸ | |
| PEVCD Grephite کشتۍ - د 125 لړۍ | 125-15 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۹۶ |
| 125-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۵۲ | |
| 125-21 ګرافائٹ کښتۍ | ۲۸۰ |
