لکه څنګه چې پورته ښودل شوي، یو عادي دی
لومړۍ نیمايي:
▪ د تودوخې عنصر (د تودوخې کویل):
د فرنس ټیوب شاوخوا موقعیت لري، معمولا د مقاومت تارونو څخه جوړ شوی، د فرنس ټیوب دننه تودوخې لپاره کارول کیږي.
▪ کوارټز ټیوب:
د ګرم اکسیډیشن فرنس اصلي برخه، د لوړ پاکوالي کوارټز څخه جوړه شوې چې کولی شي د لوړې تودوخې سره مقاومت وکړي او په کیمیاوي توګه غیر فعال پاتې شي.
▪ د ګازو تغذیه:
د فرنس ټیوب په پورتنۍ یا اړخ کې موقعیت لري، دا د فرنس ټیوب دننه د اکسیجن یا نورو ګازونو لیږدولو لپاره کارول کیږي.
▪ ایس ایس فلانج:
هغه برخې چې د کوارټز ټیوبونو او ګاز لاینونو سره نښلوي، د پیوستون ټینګښت او ثبات ډاډمن کوي.
▪ د ګازو فیډ لاینونه:
هغه پایپونه چې د ګاز لیږد لپاره MFC د ګاز رسولو بندر سره نښلوي.
▪ MFC (د ډله ایز جریان کنټرولر):
یوه وسیله چې د کوارټز ټیوب دننه د ګاز جریان کنټرولوي ترڅو د اړتیا وړ ګاز مقدار دقیق تنظیم کړي.
▪ وینټ:
د فرنس ټیوب دننه څخه د تجهیزاتو بهر ته د اخراج ګاز د ویستلو لپاره کارول کیږي.
ښکته برخه:
▪ په هولډر کې سیلیکون ویفرونه:
د سیلیکون ویفرونه په ځانګړي هولډر کې ځای پر ځای شوي ترڅو د اکسیډریشن پرمهال یونیفورم تودوخه ډاډمن کړي.
▪ ویفر هولډر:
د سیلیکون ویفر ساتلو لپاره کارول کیږي او ډاډ ترلاسه کوي چې سیلیکون ویفر د پروسې په جریان کې مستحکم پاتې کیږي.
▪ پیډسټال:
یو جوړښت چې د سیلیکون ویفر هولډر لري، معمولا د لوړ حرارت مقاومت لرونکي موادو څخه جوړ شوی.
▪ پورته کوونکی:
د سیلیکون ویفرونو اتومات بار کولو او پورته کولو لپاره د کوارټز ټیوبونو دننه او بهر د ویفر هولډرونو پورته کولو لپاره کارول کیږي.
▪ د ویفر لیږدونکی روبوټ:
د فرنس ټیوب وسیلې په اړخ کې موقعیت لري ، دا په اتوماتيک ډول د بکس څخه د سیلیکون ویفر لرې کولو او د فرنس ټیوب کې د ځای په ځای کولو لپاره کارول کیږي ، یا د پروسس کولو وروسته یې لرې کړئ.
▪ د کیسټ ذخیره کولو کاروسیل:
د کیسټ ذخیره کولو کیروسل د بکس ذخیره کولو لپاره کارول کیږي چې سیلیکون ویفرونه لري او د روبوټ لاسرسي لپاره ګرځیدلی شي.
▪ د ویفر کیسیټ:
د ویفر کیسټ د پروسس کولو لپاره د سیلیکون ویفرونو ذخیره کولو او لیږدولو لپاره کارول کیږي.
د پوسټ وخت: اپریل-22-2024