د فرنس ټیوب تجهیزاتو داخلي جوړښت په تفصیل سره تشریح شوی

لکه څنګه چې پورته ښودل شوي، یو عادي دی

لومړۍ نیمايي:
د تودوخې عنصر (د تودوخې کویل): د فرنس ټیوب شاوخوا موقعیت لري، معمولا د مقاومت تارونو څخه جوړ شوی، د فرنس ټیوب دننه د تودوخې لپاره کارول کیږي.
کوارټز ټیوب: د ګرم اکسیډیشن فرنس اصلي برخه، د لوړ پاکوالي کوارټز څخه جوړه شوې چې کولی شي د لوړې تودوخې سره مقاومت وکړي او په کیمیاوي توګه غیر فعال پاتې شي.
د ګازو تغذیه: د فرنس ټیوب په پورتنۍ یا اړخ کې موقعیت لري، دا د فرنس ټیوب دننه د اکسیجن یا نورو ګازونو لیږدولو لپاره کارول کیږي.
SS فلانج: هغه برخې چې کوارټز ټیوبونه او د ګاز لاینونه سره وصل کوي، د پیوستون ټینګښت او ثبات ډاډمن کوي.
د ګازو فیډ لاینونه: هغه پایپونه چې MFC د ګاز د لیږد لپاره د ګاز رسولو بندر سره نښلوي.
MFC (د ډله ایز جریان کنټرولر): یوه وسیله چې د کوارټز ټیوب دننه د ګاز جریان کنټرولوي ترڅو د اړتیا وړ ګاز اندازه په دقیق ډول تنظیم کړي.
وینټ: د فرنس ټیوب دننه څخه د تجهیزاتو بهر ته د اخراج ګاز د ویستلو لپاره کارول کیږي.

ښکته برخه
په هولډر کې د سیلیکون ویفرونه: سیلیکون ویفرونه په ځانګړي هولډر کې ځای په ځای شوي ترڅو د اکسیډریشن پرمهال یونیفورم تودوخه ډاډمن کړي.
ویفر هولډر: د سیلیکون ویفر ساتلو لپاره کارول کیږي او ډاډ ترلاسه کوي چې سیلیکون ویفر د پروسې په جریان کې مستحکم پاتې کیږي.
پیډسټال: یو جوړښت چې د سیلیکون ویفر هولډر لري، معمولا د لوړ حرارت مقاومت لرونکي موادو څخه جوړ شوی.
لفټ: د سیلیکون ویفرونو اتومات بار کولو او پورته کولو لپاره د کوارټز ټیوبونو دننه او بهر د ویفر هولډرونو پورته کولو لپاره کارول کیږي.
د ویفر لیږد روبوټ: د فرنس ټیوب وسیلې په اړخ کې موقعیت لري ، دا په اوتومات ډول له بکس څخه سیلیکون ویفر لرې کولو او د فرنس ټیوب کې ځای په ځای کولو لپاره کارول کیږي ، یا د پروسس کولو وروسته یې لرې کوي.
د کیسټ ذخیره کولو کیروسل: د کیسټ ذخیره کولو کیروسیل د بکس ذخیره کولو لپاره کارول کیږي چې سیلیکون ویفرونه لري او د روبوټ لاسرسي لپاره ګرځیدلی شي.
د ویفر کیسیټ: د ویفر کیسیټ د پروسس کولو لپاره د سیلیکون ویفرونو ذخیره کولو او لیږدولو لپاره کارول کیږي.