څنګه د PECVD ګرافائٹ کښتۍ پاک کړئ؟ د VET انرژي

1. د پاکولو دمخه اعتراف

1) کله چې دد PECVD ګرافیت کښتۍ/ کیریر له 100 څخه تر 150 ځله ډیر کارول کیږي ، آپریټر باید په وخت کې د کوټینګ حالت وګوري. که چیرې یو غیر معمولي کوټ شتون ولري، دا باید پاک او تایید شي. د ګرافائٹ کښتۍ / کیریر کې د سیلیکون ویفر نورمال پوښ رنګ نیلي دی. که چیرې ویفر غیر نیلي، څو رنګونه ولري، یا د ویفرونو تر مینځ د رنګ توپیر لوی وي، دا یو غیر معمولي کوټ دی، او د وخت په تیریدو سره د غیر معمولي کیدو لامل باید تایید شي.
2) د پروسې وروسته پرسونل د پوښ کولو حالت تحلیلويد PECVD ګرافیت کښتۍ/ کیریر، دوی به معلومه کړي چې آیا د ګرافیت کښتۍ پاکولو ته اړتیا لري او ایا د کارت نقطه باید ځای پرځای شي، او د ګرافائٹ کښتۍ / کیریر چې پاکولو ته اړتیا لري د پاکولو لپاره د تجهیزاتو پرسونل ته وسپارل شي.

 

3) وروستهد ګرافیت کښتۍ/کیریر زیانمن شوی، د تولید پرسونل به د ګرافائٹ په کښتۍ کې ټول سیلیکون ویفرونه وباسي او د CDA (کمپریس شوي هوا) څخه کار واخلي ترڅو په کښتۍ کې ټوټې تنظیم کړي.د ګرافیت کښتۍ. د بشپړیدو وروسته، د تجهیزاتو پرسونل به دا د تیزاب ټانک ته پورته کړي چې د پاکولو لپاره د HF محلول یو ټاکلي تناسب سره چمتو شوي.

 

2. د ګرافیت کښتۍ پاکول

سپارښتنه کیږي چې د پاکولو د دریو پړاوونو لپاره د 15-25٪ هایدروفلوریک اسید محلول وکاروئ، هر یو د 4-5 ساعتونو لپاره، او په دوره توګه د لندبل او پاکولو په بهیر کې د نایتروجن بلبل کول، شاوخوا نیم ساعت پاکول اضافه کړئ؛ یادونه: دا سپارښتنه نه کیږي چې هوا په مستقیم ډول د ګاز سرچینې په توګه د بلبل کولو لپاره وکاروئ. د اچار اچولو وروسته، د 10 ساعتونو لپاره په پاکو اوبو سره مینځل، او تایید کړئ چې کښتۍ په بشپړه توګه پاکه شوې. د پاکولو وروسته ، مهرباني وکړئ د کښتۍ سطحه ، د ګرافیټ کارت نقطه او د کښتۍ شیټ ګډ ، او نورې برخې وګورئ ترڅو وګورئ چې ایا د سیلیکون نایټریډ پاتې شونه شتون لري. بیا د اړتیاو سره سم وچ کړئ.

3. د پاکولو احتیاطي تدابیر

الف) څرنګه چې HF اسید یو ډیر زیان رسونکی ماده ده او یو ټاکلی بې ثباتي لري، دا د چلونکو لپاره خطرناک دی. نو ځکه، د پاکولو په پوسته کې چلونکي باید د خوندیتوب احتیاطي تدابیر ونیسي او د یو وقف شوي شخص لخوا اداره شي.

ب) سپارښتنه کیږي چې کښتۍ جلا کړئ او یوازې د پاکولو پرمهال د ګرافیت برخه پاکه کړئ ، ترڅو د تماس هره برخه په ډیر ښه ډول پاکه شي. اوس مهال ، ډیری کورني تولید کونکي عمومي پاکول کاروي ، کوم چې مناسب دی ، مګر ځکه چې HF اسید د سیرامیک برخو ته زیان رسونکی دی ، په ټولیزه توګه پاکول به د اړوندو برخو خدمت ژوند لنډ کړي.