د کوارټز کښتۍ ملاتړ په پرتله د سیلیکون کاربایډ کښتۍ ملاتړ ګټې

د اصلي دندېسیلیکون کاربایډ کښتۍملاتړ او د کوارټز کښتۍ ملاتړ ورته دی.د سیلیکون کاربایډ کښتۍملاتړ غوره فعالیت لري مګر لوړ قیمت. دا د بیټرۍ پروسس کولو تجهیزاتو کې د سخت کاري شرایطو سره د کوارټز کښتۍ ملاتړ سره بدیل اړیکه رامینځته کوي (لکه د LPCVD تجهیزات او د بورون خپریدو تجهیزات). د عادي کاري شرایطو سره د بیټرۍ پروسس کولو تجهیزاتو کې ، د نرخ اړیکو له امله ، د سیلیکون کاربایډ او کوارټز کښتۍ ملاتړ په ګډه شتون او سیالي کټګورۍ کیږي.

① په LPCVD او د بوران د خپریدو تجهیزاتو کې د بدیل اړیکه

د LPCVD تجهیزات د بیټرۍ حجرو تونل کولو اکسیډیشن او ډوپ شوي پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې لپاره کارول کیږي. د کار اصول:

د ټیټ فشار اتموسفیر لاندې، د مناسب تودوخې سره یوځای، کیمیاوي تعامل او د ډیپوشن فلم جوړیدل د الټرا پتلی تونل کولو اکسایډ پرت او پولیسیلیکون فلم چمتو کولو لپاره ترلاسه کیږي. د تونل کولو اکسیډیشن او ډوپ شوي پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې کې ، د کښتۍ ملاتړ د لوړ کاري تودوخې لري او د سیلیکون فلم به په سطح کې زیرمه شي. د کوارټز د تودوخې پراخوالي کوفینټ د سیلیکون څخه خورا توپیر لري. کله چې په پورتنۍ پروسه کې کارول کیږي، نو اړینه ده چې په منظمه توګه په سطح کې زیرمه شوي سیلیکون راټول او لرې کړئ ترڅو د کوارټز کښتۍ ملاتړ د سیلیکون څخه د مختلف حرارتي توسعې کثافاتو له امله د تودوخې پراختیا او انقباض له امله مات شي. د بار بار اچولو او ټیټ لوړ تودوخې ځواک له امله ، د کوارټز کښتۍ لرونکی لنډ ژوند لري او په مکرر ډول د تونل اکسیډیشن او ډوپ شوي پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې کې ځای په ځای کیږي ، کوم چې د بیټرۍ حجرو تولید لګښت د پام وړ زیاتوي. د پراخیدو ضخامتسیلیکون کاربایډد سیلیکون سره نږدې دی. مدغم شویسیلیکون کاربایډ کښتۍهولډر د تونل اکسیډیشن او ډوپ شوي پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې کې اچار ته اړتیا نلري. دا د لوړ لوړ تودوخې ځواک او اوږد خدمت ژوند لري. دا د کوارټز کښتۍ لرونکی لپاره ښه بدیل دی.

د بورون توسعې تجهیزات په عمده توګه د بیټرۍ حجرې د N-type سیلیکون ویفر سبسټریټ کې د بورون عناصرو د ډوپ کولو پروسې لپاره کارول کیږي ترڅو د PN جنکشن رامینځته کولو لپاره P-type emitter چمتو کړي. د کار اصل دا دی چې د کیمیاوي تعامل او د مالیکولر جمع کولو فلم رامینځته کول په لوړه تودوخه فضا کې احساس کړي. وروسته لدې چې فلم جوړ شي ، دا د لوړ تودوخې تودوخې لخوا توزیع کیدی شي ترڅو د سیلیکون ویفر سطح د ډوپینګ فعالیت احساس کړي. د بورون توسعې تجهیزاتو د لوړې کاري تودوخې له امله ، د کوارټز کښتۍ لرونکی د ټیټ لوړ تودوخې ځواک او د بوران توسیع تجهیزاتو کې لنډ خدمت ژوند لري. مدغم شویسیلیکون کاربایډ کښتۍهولډر د لوړې تودوخې لوړ ځواک لري او د بورون توسعې پروسې کې د کوارټز کښتۍ هولډر لپاره ښه بدیل دی.

② د پروسې په نورو تجهیزاتو کې د بدیل اړیکه

د SiC کښتۍ ملاتړ د تولید قوي ظرفیت او عالي فعالیت لري. د دوی نرخ عموما د کوارټز کښتۍ ملاتړ څخه لوړ دی. د سیل پروسس کولو تجهیزاتو عمومي کاري شرایطو کې ، د SiC کښتۍ ملاتړ او کوارټز کښتۍ ملاتړ ترمینځ د خدماتو ژوند کې توپیر کوچنی دی. ښکته پیرودونکي په عمده ډول د خپلو پروسو او اړتیاو پراساس د نرخ او فعالیت ترمینځ پرتله کوي او غوره کوي. د SiC کښتۍ ملاتړ او د کوارټز کښتۍ ملاتړ همغږي او سیالي شوي. په هرصورت، د SiC کښتۍ مالتړ د ناخالص ګټې حاشیه اوس مهال نسبتا لوړه ده. د SiC کښتۍ مالتړ تولید لګښت کمیدو سره ، که چیرې د SiC کښتۍ مالتړ پلور نرخ په فعاله توګه کم شي ، نو دا به د کوارټز کښتۍ مالتړ لپاره خورا سیالي رامینځته کړي.

د کارونې تناسب

د سیل ټیکنالوژۍ لاره په عمده ډول د PERC ټیکنالوژي او TOPcon ټیکنالوژي ده. د PERC ټیکنالوژۍ د بازار ونډه 88٪ ده، او د TOPcon ټیکنالوژۍ د بازار ونډه 8.3٪ ده. د دواړو ګډ بازار ونډه 96.30٪ ده.

لکه څنګه چې لاندې انځور کې ښودل شوي:

د PERC ټیکنالوژۍ کې، د مخکینۍ فاسفورس خپریدو او انیل کولو پروسو لپاره د کښتۍ ملاتړ ته اړتیا ده. په TOPCon ټیکنالوژۍ کې، د مخکینۍ بورون خپریدو، LPCVD، شاته فاسفورس خپریدو او د انیل کولو پروسو لپاره د کښتۍ ملاتړ ته اړتیا ده. په اوس وخت کې، د سیلیکون کاربایډ کښتۍ ملاتړ په عمده توګه د TOPCon ټیکنالوژۍ LPCVD پروسې کې کارول کیږي، او د بورون خپریدو پروسې کې د دوی غوښتنلیک په عمده توګه تایید شوی.

د کښتۍ د شکل غوښتنلیک د حجرو پروسس کولو پروسې کې ملاتړ کوي

یادونه: د PERC او TOPCon ټیکنالوژیو مخکینۍ او شاته کوټینګ وروسته ، لاهم اړیکې شتون لري لکه د سکرین چاپ کول ، سینټرینګ او ازموینه او ترتیب کول ، کوم چې د کښتۍ ملاتړ کارول شامل نه دي او په پورتنۍ شمیره کې لیست شوي ندي.