په SiC Wafer کې 4 انچ GaN

لنډ تفصیل:

د VET انرژی 4 انچه GAN په SiC ویفر کې د بریښنایی برقیاتو په برخه کې یو انقلابی محصول دی. دا ویفر د سیلیکون کاربایډ (SiC) عالي حرارتي چالکتیا د لوړ بریښنا کثافت او د ګیلیم نایټریډ (GaN) ټیټ ضایع سره ترکیب کوي ، دا د لوړې فریکونسۍ ، لوړ بریښنا وسیلو جوړولو لپاره غوره انتخاب رامینځته کوي. د VET انرژي د پرمختللي MOCVD epitaxial ټیکنالوژۍ له لارې د ویفر غوره فعالیت او دوام تضمینوي.


د محصول تفصیل

د محصول ټګ

د VET انرژي محصول لاین په SiC ویفرونو کې GaN پورې محدود ندی. موږ د سیمی کنډکټر سبسټریټ موادو پراخه لړۍ هم چمتو کوو ، پشمول د Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc. سربیره پردې، موږ په فعاله توګه د نوي پراخه بانډګاپ سیمیکمډکټر موادو لکه ګیلیم آکسایډ Ga2O3 او AlN په فعاله توګه وده کوو. Wafer، د لوړ فعالیت وسیلو لپاره د راتلونکي بریښنا بریښنایی صنعت غوښتنې پوره کولو لپاره.

د VET انرژي د انعطاف وړ دودیز کولو خدمتونه وړاندې کوي ، او کولی شي د پیرودونکو ځانګړي اړتیاو سره سم د مختلف ضخامت ، مختلف ډولونو ډوپینګ ، او مختلف ویفر اندازې GaN اپیټیکسیل پرتونه تنظیم کړي. سربیره پردې ، موږ مسلکي تخنیکي ملاتړ او د پلور وروسته خدمت هم چمتو کوو ترڅو پیرودونکو سره مرسته وکړي چې ګړندي د لوړ فعالیت بریښنا بریښنایی وسیلو ته وده ورکړي.

第6页-36
第6页-35

د ویفرینګ مشخصات

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=نیم درجې

توکي

8-انچ

6-انچ

4-انچ

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6um

≤6um

رکوع (GF3YFCD) - مطلق ارزښت

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

وارپ (GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2 μm

د ویفر څنډه

Beveling

سطحي پای

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=نیم درجې

توکي

8-انچ

6-انچ

4-انچ

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

د سطحې پای

دوه اړخیز نظری پولش، سی-مخ CMP

د سطحې خرابوالی

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
د C-Face Ra≤0.5nm

څنډه چپس

هیڅ اجازه نشته (اوږدوالی او عرض 0.5mm)

Indents

هیڅ اجازه نشته

سکریچونه (سی-مخ)

مقدار ≤5، مجموعي
اوږدوالی≤0.5 × ویفر قطر

مقدار ≤5، مجموعي
اوږدوالی≤0.5 × ویفر قطر

مقدار ≤5، مجموعي
اوږدوالی≤0.5 × ویفر قطر

درزونه

هیڅ اجازه نشته

د څنډې اخراج

3mm

tech_1_2_size
下载 (2)

  • مخکینی:
  • بل:

  • د WhatsApp آنلاین چیٹ!