Susceptor grafitowy pokryty węglikiem krzemu do trawienia LED

Krótki opis:

Susceptor z węglika krzemu do trawienia LED (taca SiC) to specjalne akcesorium do głębokiego trawienia krzemu (maszyna do trawienia ICP). nośnik wafla, znany również jako nośnik wafla, nośnik wafla krzemowego, znany również jako wafel kieszonkowy. Szeroko stosowany w półprzewodnikowym rozpylaniu CVD i próżniowym.

Wyślij e-mail do nas Pobierz jako plik PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Susceptor pokryty węglikiem krzemua klawiszkomponent stosowany w różnych procesach produkcji półprzewodników.Do wykonania susceptora pokrytego węglikiem krzemu wykorzystujemy naszą opatentowaną technologięwyjątkowo wysoka czystość,Dobrypowłokajednolitośći doskonałą żywotność, jak równieżwysoka odporność chemiczna i stabilność termiczna.

Energia VET jest theprawdziwy producent niestandardowych wyrobów z grafitu i węglika krzemu z powłoką CVD,może dostarczyćróżnyniestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki. OTwój zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych i może zapewnić bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowedla ciebie.

Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały,Iopracowali ekskluzywną, opatentowaną technologię, która może sprawić, że połączenie powłoki z podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.

FSkład naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700℃.
2. Wysoka czystość irównomierność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
5. Dłuższa żywotność i trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Typowa wartość
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm3
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA	2 ~ 10 μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700 ℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	Zakręt 430 GPa, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrzewodność	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1