ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ଏକ ସିଲିକନ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ କଠିନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରିବାର ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସୂଚିତ କରେ |ୱେଫର୍ଏକ ଗ୍ୟାସ ମିଶ୍ରଣର ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ | ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥା (ଚାପ, ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ) ଅନୁଯାୟୀ, ଏହାକୁ ବିଭିନ୍ନ ଉପକରଣ ମଡେଲରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ |
ଏହି ଦୁଇଟି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ କେଉଁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ?
PECVD(ପ୍ଲାଜମା ବର୍ଦ୍ଧିତ) ଯନ୍ତ୍ରପାତି ହେଉଛି ବହୁ ସଂଖ୍ୟାରେ ଏବଂ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ, OX, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ଧାତୁ ଗେଟ୍, ଆମୋରଫସ୍ କାର୍ବନ ଇତ୍ୟାଦିରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |; LPCVD (ନିମ୍ନ ଶକ୍ତି) ସାଧାରଣତ N ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ପଲି, TEOS ରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ନୀତି କ’ଣ?
PECVD- ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯାହା ପ୍ଲାଜମା ଶକ୍ତି ଏବଂ CVD କୁ ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ମିଶ୍ରଣ କରେ | PECVD ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ନିମ୍ନ ଚାପରେ ପ୍ରୋସେସ୍ ଚାମ୍ବରର କ୍ୟାଥୋଡ୍ (ଅର୍ଥାତ୍ ନମୁନା ଟ୍ରେ) ରେ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ଲାଜମା ବ୍ୟବହାର କରେ | ଏହି ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗରମ ଉପକରଣ ନମୁନାର ତାପମାତ୍ରାକୁ ପୂର୍ବ ନିର୍ଦ୍ଧାରିତ ସ୍ତରକୁ ବ raise ାଇପାରେ ଏବଂ ତାପରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପରିମାଣର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବର୍ତ୍ତାଇପାରେ | ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରତିକ୍ରିୟାର ଏକ କ୍ରମରେ ଗତି କରେ ଏବଂ ଶେଷରେ ନମୁନା ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ଦୃ solid ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ |
LPCVD - ନିମ୍ନ ଚାପର ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (LPCVD) ରିଆକ୍ଟରରେ ଥିବା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସର ଚାଳନା ଚାପକୁ ପ୍ରାୟ 133Pa କିମ୍ବା ତା’ଠାରୁ କମ୍ କରିବାକୁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି |
ପ୍ରତ୍ୟେକର ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ କ’ଣ?
PECVD - ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯାହା ପ୍ଲାଜମା ଶକ୍ତି ଏବଂ CVD କୁ ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ମିଶ୍ରଣ କରେ: 1) ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା କାର୍ଯ୍ୟ (ଯନ୍ତ୍ରପାତିର ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ନଷ୍ଟକୁ ଏଡାଇବା); 2) ଦ୍ରୁତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ବୃଦ୍ଧି; 3) ସାମଗ୍ରୀ, OX, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ଧାତୁ ଗେଟ୍, ଆମୋରଫସ୍ କାର୍ବନ୍ ସବୁ ବ grow ିପାରେ | 4) ସେଠାରେ ଏକ ଇନ୍-ସିଟ୍ ମନିଟରିଂ ସିଷ୍ଟମ୍ ଅଛି, ଯାହା ଆୟନ ପାରାମିଟର, ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବାହ ହାର, ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଘନତା ମାଧ୍ୟମରେ ରେସିପି ଆଡଜଷ୍ଟ କରିପାରିବ |
LPCVD - LPCVD ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥିବା ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଗୁଡ଼ିକରେ ଉନ୍ନତ ଷ୍ଟେପ୍ କଭରେଜ୍, ଭଲ ରଚନା ଏବଂ ଗଠନ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାର ଏବଂ ଆଉଟପୁଟ୍ ରହିବ | ଏହା ସହିତ, LPCVD କ୍ୟାରିଅର୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଆବଶ୍ୟକ କରେ ନାହିଁ, ତେଣୁ ଏହା କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣର ଉତ୍ସକୁ ବହୁ ମାତ୍ରାରେ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ ଏବଂ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ମୂଲ୍ୟଯୁକ୍ତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ପରବର୍ତ୍ତୀ ଆଲୋଚନା ପାଇଁ ଆମକୁ ପରିଦର୍ଶନ କରିବାକୁ ବିଶ୍ world ର ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ରାହକଙ୍କୁ ସ୍ୱାଗତ!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁଲାଇ -24-2024 |