1. ସଫା କରିବା ପୂର୍ବରୁ ସ୍ୱୀକୃତି
୧) ଯେତେବେଳେPECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା/ବାହକକୁ 100 ରୁ 150 ଥରରୁ ଅଧିକ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଅପରେଟରଙ୍କୁ ସମୟ ମଧ୍ୟରେ ଆବରଣ ଅବସ୍ଥା ଯାଞ୍ଚ କରିବାକୁ ପଡିବ। ଯଦି କୌଣସି ଅସ୍ୱାଭାବିକ ଆବରଣ ଥାଏ, ତେବେ ଏହାକୁ ସଫା କରି ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ପଡିବ। ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା/ବାହକରେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ସାଧାରଣ ଆବରଣ ରଙ୍ଗ ନୀଳ। ଯଦି ୱେଫରରେ ନୀଳ ନୁହେଁ, ଅନେକ ରଙ୍ଗ ଅଛି, କିମ୍ବା ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ରଙ୍ଗ ପାର୍ଥକ୍ୟ ବଡ଼, ତେବେ ଏହା ଏକ ଅସ୍ୱାଭାବିକ ଆବରଣ, ଏବଂ ଅସ୍ୱାଭାବିକତାର କାରଣ ସମୟ ମଧ୍ୟରେ ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ପଡିବ।
2) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରେ କର୍ମଚାରୀମାନେ ଆବରଣ ଅବସ୍ଥା ବିଶ୍ଳେଷଣ କରନ୍ତିPECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା/ବାହକଙ୍କ ଦ୍ଵାରା, ସେମାନେ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବେ ଯେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗାକୁ ସଫା କରିବା ଆବଶ୍ୟକ କି ନାହିଁ ଏବଂ କାର୍ଡ ପଏଣ୍ଟକୁ ବଦଳାଇବା ଆବଶ୍ୟକ କି ନାହିଁ, ଏବଂ ଯେଉଁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା/ବାହକଙ୍କୁ ସଫା କରିବାକୁ ପଡିବ ତାହାକୁ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ଉପକରଣ କର୍ମଚାରୀଙ୍କୁ ହସ୍ତାନ୍ତର କରାଯିବ।
3) ପରେଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା/ବାହକ କ୍ଷତିଗ୍ରସ୍ତ ହୋଇଛି, ଉତ୍ପାଦନ କର୍ମଚାରୀମାନେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗାରେ ଥିବା ସମସ୍ତ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ବାହାର କରିବେ ଏବଂ ସେଥିରେ ଥିବା ଖଣ୍ଡଗୁଡ଼ିକୁ ସଜାଡ଼ିବା ପାଇଁ CDA (ସଙ୍କୁଚିତ ବାୟୁ) ବ୍ୟବହାର କରିବେଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା। ସମାପ୍ତ ହେବା ପରେ, ଉପକରଣ କର୍ମଚାରୀମାନେ ଏହାକୁ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଅନୁପାତରେ HF ଦ୍ରବଣ ସହିତ ପ୍ରସ୍ତୁତ ହୋଇଥିବା ଏସିଡ୍ ଟାଙ୍କିରେ ଉଠାଇବେ।
2. ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ସଫା କରିବା
ତିନି ରାଉଣ୍ଡ ସଫା କରିବା ପାଇଁ 15-25% ହାଇଡ୍ରୋଫ୍ଲୋରିକ୍ ଏସିଡ୍ ଦ୍ରବଣ ବ୍ୟବହାର କରିବାକୁ ସୁପାରିଶ କରାଯାଇଛି, ପ୍ରତ୍ୟେକଟି 4-5 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ, ଏବଂ ସମୟ ସମୟରେ ଭିଜାଇ ଏବଂ ସଫା କରିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ବବଲ୍ କରିବା, ପ୍ରାୟ ଅଧ ଘଣ୍ଟା ସଫା କରିବା; ଟିପ୍ପଣୀ: ବବଲ୍ କରିବା ପାଇଁ ସିଧାସଳଖ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବାୟୁ ବ୍ୟବହାର କରିବାକୁ ସୁପାରିଶ କରାଯାଇ ନାହିଁ। ଆଚାର କରିବା ପରେ, ପ୍ରାୟ 10 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ ବିଶୁଦ୍ଧ ପାଣିରେ ଧୋଇ ଦିଅନ୍ତୁ, ଏବଂ ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ ଯେ ଡଙ୍ଗାଟି ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ସଫା ହୋଇଛି। ସଫା କରିବା ପରେ, ଦୟାକରି ଡଙ୍ଗାର ପୃଷ୍ଠ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାର୍ଡ ପଏଣ୍ଟ ଏବଂ ଡଙ୍ଗା ସିଟ୍ ସନ୍ଧି ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଅଂଶ ଯାଞ୍ଚ କରନ୍ତୁ ଯେ କୌଣସି ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଅବଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଅଛି କି ନାହିଁ। ତା'ପରେ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ ଶୁଖାନ୍ତୁ।
3. ସଫା କରିବା ପାଇଁ ସତର୍କତା
କ) ଯେହେତୁ HF ଏସିଡ୍ ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୟକାରୀ ପଦାର୍ଥ ଏବଂ ଏହାର ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଅସ୍ଥିରତା ଅଛି, ଏହା ଅପରେଟରମାନଙ୍କ ପାଇଁ ବିପଦପୂର୍ଣ୍ଣ। ତେଣୁ, ସଫା ପୋଷ୍ଟରେ ଅପରେଟରମାନେ ସୁରକ୍ଷା ସତର୍କତା ଅବଲମ୍ବନ କରିବା ଉଚିତ ଏବଂ ଜଣେ ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ ବ୍ୟକ୍ତିଙ୍କ ଦ୍ୱାରା ପରିଚାଳିତ ହେବା ଉଚିତ।
ଖ) ସଫା କରିବା ସମୟରେ ଡଙ୍ଗାକୁ ଅଲଗା କରି କେବଳ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଅଂଶକୁ ସଫା କରିବାକୁ ସୁପାରିଶ କରାଯାଇଛି, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ପ୍ରତ୍ୟେକ ସମ୍ପର୍କ ଅଂଶକୁ ଅଧିକ ଭଲ ଭାବରେ ସଫା କରାଯାଇପାରିବ। ବର୍ତ୍ତମାନ, ଅନେକ ଘରୋଇ ନିର୍ମାତା ସାମଗ୍ରିକ ସଫା ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯାହା ସୁବିଧାଜନକ, କିନ୍ତୁ ଯେହେତୁ HF ଏସିଡ୍ ସିରାମିକ୍ ଅଂଶ ପାଇଁ କ୍ଷୟକାରୀ, ସାମଗ୍ରିକ ସଫା କରିବା ଦ୍ଵାରା ସମ୍ପୃକ୍ତ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ସେବା ଜୀବନ ହ୍ରାସ ପାଇବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୨୩-୨୦୨୪