1. ସଫା କରିବା ପୂର୍ବରୁ ସ୍ୱୀକୃତି |
1) ଯେତେବେଳେPECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା |/ ବାହକ 100 ରୁ 150 ଥର ଅଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଅପରେଟର୍ ଆବରଣର ସ୍ଥିତିକୁ ଠିକ୍ ସମୟରେ ଯାଞ୍ଚ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ କରେ | ଯଦି ଏକ ଅସ୍ୱାଭାବିକ ଆବରଣ ଅଛି, ଏହାକୁ ସଫା କରି ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ | ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା / ବାହକରେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ର ସାଧାରଣ ଆବରଣ ରଙ୍ଗ ନୀଳ | ଯଦି ୱେଫର୍ରେ ଅଣ-ନୀଳ, ଏକାଧିକ ରଙ୍ଗ ଥାଏ, କିମ୍ବା ୱାଫର୍ ମଧ୍ୟରେ ରଙ୍ଗ ପାର୍ଥକ୍ୟ ବଡ଼, ଏହା ଏକ ଅସ୍ୱାଭାବିକ ଆବରଣ, ଏବଂ ଅସ୍ୱାଭାବିକତାର କାରଣ ଠିକ୍ ସମୟରେ ନିଶ୍ଚିତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |
2) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରେ କର୍ମଚାରୀମାନେ ଆବରଣର ସ୍ଥିତିକୁ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରନ୍ତି |PECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା |/ ବାହକ, ସେମାନେ ସ୍ଥିର କରିବେ ଯେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗାକୁ ସଫା କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ ଏବଂ କାର୍ଡ ପଏଣ୍ଟ ବଦଳାଇବା ଆବଶ୍ୟକ କି ନୁହେଁ, ଏବଂ ସଫା କରିବାକୁ ଥିବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା / ବାହକକୁ ସଫେଇ ପାଇଁ ଉପକରଣ କର୍ମଚାରୀଙ୍କୁ ହସ୍ତାନ୍ତର କରାଯିବ |
3) ପରେଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା |/ ବାହକ କ୍ଷତିଗ୍ରସ୍ତ ହୋଇଛି, ଉତ୍ପାଦନ କର୍ମଚାରୀମାନେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗାରେ ଥିବା ସମସ୍ତ ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ବାହାର କରିବେ ଏବଂ CDA (ସଙ୍କୋଚିତ ବାୟୁ) ବ୍ୟବହାର କରିବେ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା |। ସମାପ୍ତ ହେବା ପରେ, ଯନ୍ତ୍ରପାତି କର୍ମଚାରୀମାନେ ଏହାକୁ ଏସିଡ୍ ଟ୍ୟାଙ୍କରେ ଉଠାଇବେ ଯାହା ସଫା କରିବା ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଅନୁପାତରେ HF ସମାଧାନ ସହିତ ପ୍ରସ୍ତୁତ ହୋଇଛି |
2. ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ସଫା କରିବା |
ତିନି ରାଉଣ୍ଡ ସଫା କରିବା ପାଇଁ 15-25% ହାଇଡ୍ରୋଫ୍ଲୋରିକ୍ ଏସିଡ୍ ଦ୍ରବଣ ବ୍ୟବହାର କରିବାକୁ ପରାମର୍ଶ ଦିଆଯାଇଛି, ପ୍ରତ୍ୟେକଟି 4-5 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ, ଏବଂ ଭିଜାଇବା ଏବଂ ସଫା କରିବା ସମୟରେ ପର୍ଯ୍ୟାୟକ୍ରମେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ବବ୍ଲିଙ୍ଗ୍ କରିବା, ପ୍ରାୟ ଅଧ ଘଣ୍ଟା ସଫା କରିବା; ଟିପନ୍ତୁ: ବବୁଲିଂ ପାଇଁ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବାୟୁକୁ ସିଧାସଳଖ ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରାମର୍ଶ ଦିଆଯାଇନଥାଏ | ଉଠାଇବା ପରେ, ପ୍ରାୟ 10 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ ଶୁଦ୍ଧ ପାଣିରେ ଧୋଇ ଦିଅନ୍ତୁ ଏବଂ ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ ଯେ ଡଙ୍ଗାଟି ଭଲ ଭାବରେ ସଫା ହୋଇଛି | ସଫା କରିବା ପରେ, ଦୟାକରି ଡଙ୍ଗାର ଉପରିଭାଗ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାର୍ଡ ପଏଣ୍ଟ ଏବଂ ଡଙ୍ଗା ସିଟ୍ ଗଣ୍ଠି ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଅଂଶ ଯାଞ୍ଚ କରନ୍ତୁ ଯେ କ sil ଣସି ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଅବଶିଷ୍ଟ ଅଛି କି ନାହିଁ | ତା’ପରେ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ଶୁଖାନ୍ତୁ |
3। ସତର୍କତା ସଫା କରିବା |
କ) ଯେହେତୁ HF ଏସିଡ୍ ଏକ ଅତ୍ୟଧିକ କ୍ଷତିକାରକ ପଦାର୍ଥ ଏବଂ ଏହାର ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଅସ୍ଥିରତା ଅଛି, ଏହା ଅପରେଟରମାନଙ୍କ ପାଇଁ ବିପଦଜନକ ଅଟେ | ତେଣୁ, ସଫେଇ ପୋଷ୍ଟରେ ଥିବା ଅପରେଟରମାନେ ନିଶ୍ଚିତ ଭାବରେ ସୁରକ୍ଷା ସାବଧାନତା ଅବଲମ୍ବନ କରିବେ ଏବଂ ଜଣେ ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ ବ୍ୟକ୍ତିଙ୍କ ଦ୍ୱାରା ପରିଚାଳିତ ହେବେ |
ଖ) ଡଙ୍ଗାକୁ ଅଲଗା କରିବା ଏବଂ ସଫା କରିବା ସମୟରେ କେବଳ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଅଂଶ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ପରାମର୍ଶ ଦିଆଯାଇଛି, ଯାହା ଦ୍ each ାରା ପ୍ରତ୍ୟେକ ଯୋଗାଯୋଗ ଅଂଶ ଅଧିକ ଭଲ ଭାବରେ ସଫା ହୋଇପାରିବ | ବର୍ତ୍ତମାନ, ଅନେକ ଘରୋଇ ଉତ୍ପାଦକ ସାମଗ୍ରିକ ସଫେଇ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯାହା ସୁବିଧାଜନକ ଅଟେ, କିନ୍ତୁ HF ଏସିଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଅଂଶଗୁଡିକ ପାଇଁ କ୍ଷତିକାରକ ହୋଇଥିବାରୁ ସାମଗ୍ରିକ ସଫେଇ କାର୍ଯ୍ୟ ସଂପୃକ୍ତ ଅଂଶଗୁଡିକର ସେବା ଜୀବନକୁ ହ୍ରାସ କରିବ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର -23-2024 |