ସର୍ବପ୍ରଥମେ, ଆମେ ଜାଣିବା ଆବଶ୍ୟକ |PECVD(ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉନ୍ନତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) | ପ୍ଲାଜ୍ମା ହେଉଛି ପଦାର୍ଥ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ତାପଜ ଗତିର ତୀବ୍ରତା | ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ ଧକ୍କା ହେବା ଦ୍ the ାରା ଗ୍ୟାସ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ଆୟୋନାଇଜ୍ ହୋଇଯିବେ ଏବଂ ପଦାର୍ଥଟି ମୁକ୍ତ ଭାବରେ ଗତି କରୁଥିବା ସକରାତ୍ମକ ଆୟନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ନିରପେକ୍ଷ କଣିକାର ମିଶ୍ରଣରେ ପରିଣତ ହେବ ଯାହା ପରସ୍ପର ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟ କରିଥାଏ |
ଏହା ଅନୁମାନ କରାଯାଏ ଯେ ସିଲିକନ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଆଲୋକର ପ୍ରତିଫଳନ ହ୍ରାସ ହାର ପ୍ରାୟ 35% ଅଧିକ | ଆଣ୍ଟି-ପ୍ରତିଫଳନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ବ୍ୟାଟେରୀ ସେଲ୍ ଦ୍ୱାରା ସ ar ର ଆଲୋକର ବ୍ୟବହାର ହାରକୁ ବହୁଗୁଣିତ କରିପାରିବ, ଯାହା ଫୋଟୋଜେରେଟେଡ୍ କରେଣ୍ଟ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତା ବୃଦ୍ଧି କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରିଥାଏ ଏବଂ ଏହିପରି ରୂପାନ୍ତର ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ | ଏଥି ସହିତ, ଫିଲ୍ମରେ ଥିବା ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ବ୍ୟାଟେରୀ ସେଲର ପୃଷ୍ଠକୁ ପାସ୍ କରିଥାଏ, ଏମିଟର ଜଙ୍କସନର ଭୂପୃଷ୍ଠର ପୁନର୍ବିନ୍ୟାସ ହାରକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ, ଅନ୍ଧାର କରେଣ୍ଟକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ, ଓପନ୍ ସର୍କିଟ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ବ increases ାଇଥାଏ ଏବଂ ଫଟୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ରୂପାନ୍ତର ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ | ଜଳିବା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ତତକ୍ଷଣାତ୍ ଆନ୍ନାଲିଙ୍ଗ୍ କିଛି Si-H ଏବଂ NH ବଣ୍ଡକୁ ଭାଙ୍ଗେ, ଏବଂ ମୁକ୍ତ ହୋଇଥିବା H ବ୍ୟାଟେରୀର ପାସ୍ସିଭେସନ୍କୁ ଆହୁରି ଦୃ strengthen କରେ |
ଯେହେତୁ ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍-ଗ୍ରେଡ୍ ସିଲିକନ୍ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକରେ ଅବଶ୍ୟ ବହୁ ପରିମାଣର ଅପରିଷ୍କାରତା ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ରହିଥାଏ, ସଂଖ୍ୟାଲଘୁ ବାହକ ଜୀବନକାଳ ଏବଂ ସିଲିକନରେ ବିସ୍ତାର ଦ length ର୍ଘ୍ୟ କମିଯାଏ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ବ୍ୟାଟେରୀର ରୂପାନ୍ତର ଦକ୍ଷତା ହ୍ରାସ ପାଇଲା | ସିଲିକନରେ ଥିବା ତ୍ରୁଟି କିମ୍ବା ଅପରିଷ୍କାରତା ସହିତ H ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିପାରେ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ବ୍ୟାଣ୍ଡଗ୍ୟାପରେ ଥିବା ଶକ୍ତି ବ୍ୟାଣ୍ଡକୁ ଭାଲେନ୍ସ ବ୍ୟାଣ୍ଡ କିମ୍ବା କଣ୍ଡକ୍ଟସନ୍ ବ୍ୟାଣ୍ଡରେ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରାଯାଇପାରେ |
PECVD ନୀତି |
PECVD ସିଷ୍ଟମ୍ ବ୍ୟବହାର କରୁଥିବା ଏକ ଜେନେରେଟର |PECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉତ୍ତେଜକ | ନିମ୍ନ ଚାପ ଏବଂ ଉତ୍ତାପ ତାପମାତ୍ରାରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବା ପାଇଁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଜେନେରେଟର ସିଧାସଳଖ ଆବରଣ ପ୍ଲେଟର ମ in ିରେ ସ୍ଥାପିତ | ବ୍ୟବହୃତ ସକ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ସିଲାନ SiH4 ଏବଂ ଆମୋନିୟା NH3 | ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ରେ ଗଚ୍ଛିତ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଉପରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ | ସିଲାନ୍ର ଅନୁପାତକୁ ଆମୋନିଆରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରି ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସୂଚକାଙ୍କ ମିଳିପାରିବ | ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ବହୁ ପରିମାଣର ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ପରମାଣୁ ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ଆୟନ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଯାହା ୱେଫର ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ପାସିଭେସନକୁ ବହୁତ ଭଲ କରିଥାଏ | ଏକ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଏବଂ 480 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ର ପରିବେଶରେ, ସିକ୍ସନ୍ ର ଏକ ସ୍ତର ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଆବୃତ ହୋଇଛି |PECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା |.
3SiH4 + 4NH3 → Si3N4 + 12H2 |
Si3N4
Si3N4 ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ରଙ୍ଗ ଏହାର ଘନତା ସହିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ | ସାଧାରଣତ ,, ଆଦର୍ଶ ଘନତା 75 ରୁ 80 nm ମଧ୍ୟରେ, ଯାହା ଗା dark ନୀଳ ଦେଖାଯାଏ | Si3N4 ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ରତୀକାତ୍ମକ ସୂଚକାଙ୍କ 2.0 ରୁ 2.5 ମଧ୍ୟରେ ସର୍ବୋତ୍ତମ | ମଦ୍ୟପାନ ସାଧାରଣତ its ଏହାର ପ୍ରତୀକାତ୍ମକ ସୂଚକାଙ୍କ ମାପିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଭୂପୃଷ୍ଠ ପାସିଭେସନ୍ ଇଫେକ୍ଟ, ଦକ୍ଷ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆଣ୍ଟି-ପ୍ରତିଫଳନ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା (ଘନତା ପ୍ରତୀକାତ୍ମକ ସୂଚକାଙ୍କ ମେଳ), ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରକ୍ରିୟା (ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିବା), ଏବଂ ଉତ୍ପାଦିତ H ଆୟନଗୁଡିକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ପାସ୍ କରିଥାଏ |
ଆବରଣ କର୍ମଶାଳାରେ ସାଧାରଣ ବିଷୟ |
ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତା |:
ବିଭିନ୍ନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଘନତା ପାଇଁ ଡିପୋଜିଟ ସମୟ ଅଲଗା | ଆବରଣର ରଙ୍ଗ ଅନୁଯାୟୀ ଜମା ସମୟ ଉପଯୁକ୍ତ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କିମ୍ବା ହ୍ରାସ କରାଯିବା ଉଚିତ | ଯଦି ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଟି ଧଳା, ତେବେ ଡିପୋଜିଟ ସମୟ ହ୍ରାସ କରାଯିବା ଉଚିତ | ଯଦି ଏହା ଲାଲ ରଙ୍ଗର, ତେବେ ଏହାକୁ ଉପଯୁକ୍ତ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରାଯିବା ଉଚିତ | ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ରତ୍ୟେକ ଡଙ୍ଗା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ରୂପେ ନିଶ୍ଚିତ ହେବା ଉଚିତ ଏବଂ ତ୍ରୁଟିପୂର୍ଣ୍ଣ ଉତ୍ପାଦଗୁଡିକ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରବାହିତ ହେବାକୁ ଦିଆଯାଉ ନାହିଁ | ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଯଦି ଆବରଣ ଖରାପ, ଯେପରିକି ରଙ୍ଗ ଦାଗ ଏବଂ ୱାଟର ମାର୍କ, ଉତ୍ପାଦନ ପୃଷ୍ଠରେ ସବୁଠାରୁ ସାଧାରଣ ପୃଷ୍ଠ ଧଳା, ରଙ୍ଗ ପାର୍ଥକ୍ୟ, ଏବଂ ଧଳା ଦାଗଗୁଡିକ ଠିକ୍ ସମୟରେ ବାଛିବା ଉଚିତ | ଭୂପୃଷ୍ଠ ଧଳା ହେବା ମୁଖ୍ୟତ the ମୋଟା ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଦ୍ caused ାରା ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଫିଲ୍ମ ଜମା ସମୟକୁ ସଜାଡି ଆଡଜଷ୍ଟ ହୋଇପାରେ; ରଙ୍ଗ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ମୁଖ୍ୟତ gas ଗ୍ୟାସ୍ ପଥ ଅବରୋଧ, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ଲିକେଜ୍, ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ବିଫଳତା ଇତ୍ୟାଦି ଦ୍ୱାରା ହୋଇଥାଏ | ଧଳା ଦାଗଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତ the ପୂର୍ବ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଛୋଟ କଳା ଦାଗ ଦ୍ୱାରା ହୋଇଥାଏ | ପ୍ରତିଫଳନ, ପ୍ରତୀକାତ୍ମକ ସୂଚକାଙ୍କ ଇତ୍ୟାଦି ଉପରେ ନଜର ରଖିବା, ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସର ସୁରକ୍ଷା ଇତ୍ୟାଦି |
ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ଧଳା ଦାଗ |:
PECVD ହେଉଛି ସ ar ର କୋଷଗୁଡ଼ିକରେ ଅପେକ୍ଷାକୃତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ଏକ କମ୍ପାନୀର ସ ar ର କୋଷଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସୂଚକ | PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ସାଧାରଣତ busy ବ୍ୟସ୍ତ, ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ବ୍ୟାଚ୍ କୋଷଗୁଡିକ ଉପରେ ନଜର ରଖିବା ଆବଶ୍ୟକ | ସେଠାରେ ଅନେକ ଆବରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ଅଛି, ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଟ୍ୟୁବରେ ସାଧାରଣତ hundreds ଶହ ଶହ କୋଷ ଅଛି (ଯନ୍ତ୍ରପାତି ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି) | ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ପରେ, ଯାଞ୍ଚ ଚକ୍ର ଲମ୍ବା ଅଟେ | ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ସମଗ୍ର ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଇଣ୍ଡଷ୍ଟ୍ରିକୁ ଗୁରୁତ୍ୱ ଦେଇଥାଏ | ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିକୁ ଉନ୍ନତ କରି ସ ar ର କୋଷଗୁଡ଼ିକର ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇପାରିବ | ଭବିଷ୍ୟତରେ, ସ ar ର କୋଷ ପୃଷ୍ଠର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସ ar ର କୋଷଗୁଡ଼ିକର ତତ୍ତ୍ୱଗତ ଦକ୍ଷତାରେ ଏକ ସଫଳତା ହୋଇପାରେ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର -23-2024 |