SiC-belegg/belagt av grafittsubstrat for halvleder,Grafittbrett, Sic grafittepitaksi-susceptorer,
Karbon leverer susceptorer, EPITAKSI OG MOCVD, epitaksi-susceptorer, Grafittbrett, Wafer Susceptorer,
CVD-SiC-belegg har egenskapene til jevn struktur, kompakt materiale, høy temperaturbestandighet, oksidasjonsmotstand, høy renhet, syre- og alkaliresistens og organisk reagens, med stabile fysiske og kjemiske egenskaper.
Sammenlignet med grafittmaterialer med høy renhet, begynner grafitt å oksidere ved 400C, noe som vil føre til tap av pulver på grunn av oksidasjon, noe som resulterer i miljøforurensning til perifere enheter og vakuumkamre, og øke urenheter i miljø med høy renhet.
Imidlertid kan SiC-belegg opprettholde fysisk og kjemisk stabilitet ved 1600 grader, det er mye brukt i moderne industri, spesielt i halvlederindustrien.
Vårt firma tilbyr SiC-beleggingsprosesstjenester ved CVD-metode på overflaten av grafitt, keramikk og andre materialer, slik at spesielle gasser som inneholder karbon og silisium reagerer ved høy temperatur for å oppnå høy renhet SiC-molekyler, molekyler avsatt på overflaten av de belagte materialene, danner SIC-beskyttelseslag. Den dannede SIC er fast bundet til grafittbasen, noe som gir grafittbasen spesielle egenskaper, og dermed gjør overflaten til grafitten kompakt, porøsitetsfri, høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet og oksidasjonsbestandighet.
Hovedtrekk:
1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand:
oksidasjonsmotstanden er fortsatt veldig god når temperaturen er så høy som 1700 C.
2. Høy renhet: laget av kjemisk dampavsetning under høytemperatur kloreringsforhold.
3. Erosjonsbestandighet: høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
4. Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg:
SiC-CVD | ||
Tetthet | (g/cc)
| 3.21 |
Bøyestyrke | (Mpa)
| 470 |
Termisk ekspansjon | (10-6/K) | 4
|
Termisk ledningsevne | (W/mK) | 300 |
Forsyningsevne:
10 000 stykker/stykker per måned
Emballasje og levering:
Pakking: Standard og sterk emballasje
Polypose + Eske + Kartong + Pall
Havn:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Ledetid:
Antall (stykker) | 1 – 1000 | >1000 |
Est. Tid (dager) | 15 | Skal forhandles |