VET Energy PECVD lastebrett er en presisjonsbærer designet for PECVD (plasmaforsterket kjemisk dampavsetning) prosess. Dette grafittbrettet av høy kvalitet er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet. Den har utmerket høytemperaturmotstand, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper. Det kan gi en stabil bærerplattform for PECVD-prosessen og sikre jevnheten og flatheten til filmavsetningen.
VET Energy PECVD lastebrett er mye brukt innen halvleder, solcelle, LED og andre felt. For eksempel:
▪ Halvleder: PECVD-prosess for halvledermaterialer som silisiumwafere og epitaksiale wafere.
▪ Fotovoltaisk: PECVD-prosess for solcelle-tynne filmer.
▪ LED: PECVD-prosess for LED-brikker.
Produktfordeler
▪Forbedre filmkvaliteten:Sikre jevn filmavsetning og forbedre filmkvaliteten.
▪Forleng utstyrets levetid:Utmerket korrosjonsmotstand, forleng levetiden til PECVD-utstyr.
▪Reduser produksjonskostnadene:Grafittbrett av høy kvalitet kan redusere skraphastigheten og redusere produksjonskostnadene.
Grafittmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Test standard | Verdi | Enhet |
| Gjennomsnittlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulk tetthet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Åpen porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Middels porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hardhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifikk elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøyestyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykkstyrke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk ekspansjon (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Termisk ledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er spesielt designet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter G12-wafer-behandling i stor størrelse. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.
| Punkt | Type | Nummer waferholder |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepittbåt | 144 |
| 156-19 grepittbåt | 216 | |
| 156-21 grepittbåt | 240 | |
| 156-23 grafittbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grepittbåt | 196 |
| 125-19 grepittbåt | 252 | |
| 125-21 grphitbåt | 280 |
