Den avanserteSiC Cantilever Paddlefor Wafer Processing laget av vet-kina gir en utmerket løsning for halvlederproduksjon. Denne utkragende skovlen er laget av SiC (silisiumkarbid) materiale, og dens høye hardhet og varmebestandighet gjør at den opprettholder utmerket ytelse i høye temperaturer og korrosive miljøer. Utformingen av Cantilever Paddle gjør at waferen kan støttes pålitelig under behandling, noe som reduserer risikoen for fragmentering og skade.
SiC Cantilever Paddleer en spesialisert komponent som brukes i halvlederproduksjonsutstyr som oksidasjonsovn, diffusjonsovn og glødeovn, hovedbruken er for lasting og lossing av wafer, støtter og transporterer wafere under høytemperaturprosesser.
Felles struktureravSiCcantileverpaddle: en utkragende struktur, festet i den ene enden og fri i den andre, har typisk en flat og åreaktig design.
VET Energy bruker rekrystalliserte silisiumkarbidmaterialer med høy renhet for å garantere kvaliteten.
| Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
| Eiendom | Typisk verdi |
| Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
| SiC innhold | > 99,96 % |
| Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
| Bulk tetthet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
| Kompresjonsstyrke | > 600MPa |
| Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
| Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termisk ledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| Elastisk modul | 240 GPa |
| Motstand mot termisk sjokk | Ekstremt bra |
Fordelene med VET Energys Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing er:
-Høy temperaturstabilitet: kan brukes i miljøer over 1600°C;
-Lav termisk ekspansjonskoeffisient: opprettholder dimensjonsstabilitet, reduserer risikoen for vridning av wafer;
-Høy renhet: lavere risiko for metallforurensning;
- Kjemisk treghet: korrosjonsbestandig, egnet for ulike gassmiljøer;
-Høy styrke og hardhet: Slitebestandig, lang levetid;
-God varmeledningsevne: hjelper til med jevn oppvarming av wafer.
