PECVD Laadbak Afzetting Grafietbak

Korte beschrijving:

De PECVD-laadbak van VET Energy is ontworpen om veilige en gelijkmatige ondersteuning te bieden voor wafers tijdens het deponeren, waardoor de consistentie en kwaliteit van het deponeerproces wordt verbeterd. Met zijn uitstekende hittebestendigheid helpt de Graphite Tray een gecontroleerde omgeving in PECVD-kamers te handhaven, waardoor het risico op besmetting wordt verminderd en een hoge procesefficiëntie wordt gegarandeerd.

Stuur een e-mail naar ons Downloaden als PDF

Productdetail

Productlabels

VET Energy PECVD-laadbak is een precisiedrager ontworpen voor het PECVD-proces (plasma verbeterde chemische dampdepositie). Deze hoogwaardige grafietbak is gemaakt van zeer zuiver grafietmateriaal met hoge dichtheid. Het heeft uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand, maatvastheid en andere kenmerken. Het kan een stabiel dragerplatform bieden voor het PECVD-proces en de uniformiteit en vlakheid van de filmafzetting garanderen.

VET Energy PECVD laadbakken worden veel gebruikt in halfgeleider-, fotovoltaïsche, LED- en andere velden. Bijvoorbeeld:

▪ Halfgeleider: PECVD-proces voor halfgeleidermaterialen zoals siliciumwafels en epitaxiale wafels.

▪ Fotovoltaïsch: PECVD-proces voor dunne films van zonnecellen.

▪ LED: PECVD-proces voor LED-chips.

Productvoordelen

▪Verbeter de filmkwaliteit:Zorg voor een uniforme filmafzetting en verbeter de filmkwaliteit.

▪Verleng de levensduur van apparatuur:Uitstekende corrosieweerstand, verleng de levensduur van PECVD-apparatuur.

▪Verlaag de productiekosten:Hoogwaardige grafiettrays kunnen het uitvalpercentage verminderen en de productiekosten verlagen.

Grafietmateriaal van SGL:

Typische parameter: R6510
Index	Teststandaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO13320	10	urn
Bulkdichtheid	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Open porositeit	DIN66133	10	%
Middelmatige poriegrootte	DIN66133	1.8	urn
Permeabiliteit	DIN 51935	0,06	cm²/sec
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN-IEC60413/303	90	HR
Specifieke elektrische weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young's modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Thermische uitzetting (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Thermische geleidbaarheid (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Het is speciaal ontworpen voor de productie van zeer efficiënte zonnecellen en ondersteunt de verwerking van grote G12-wafels. Een geoptimaliseerd dragerontwerp verhoogt de doorvoer aanzienlijk, waardoor hogere opbrengsten en lagere productiekosten mogelijk zijn.

Item	Type	Nummer wafeldrager
PEVCD Grephite-boot - De 156-serie	156-13 grefietboot	144
	156-19 grefietboot	216
	156-21 grefietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite-boot - De 125-serie	125-15 grefietboot	196
	125-19 grefietboot	252
	125-21 grafietboot	280