Grafietsubstraatwafelhouder voor PECVD

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder is een precisiedrager ontworpen voor het PECVD-proces (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). Deze hoogwaardige grafietsubstraathouder is gemaakt van grafietmateriaal met hoge zuiverheid en hoge dichtheid, met uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand, maatvastheid en andere kenmerken. Het kan een stabiel ondersteuningsplatform bieden voor het PECVD-proces en de uniformiteit en vlakheid van de filmafzetting garanderen.

VET Energy PECVD procesgrafietwafelsteuntafel heeft de volgende kenmerken:

▪Hoge zuiverheid:extreem laag onzuiverheidsgehalte, vermijd vervuiling van de film, zorg voor filmkwaliteit.

▪Hoge dichtheid:hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen PECVD-omgevingen met hoge temperaturen en hoge druk.

▪Goede maatvastheid:kleine maatverandering bij hoge temperatuur, waardoor processtabiliteit wordt gegarandeerd.

▪Uitstekende thermische geleidbaarheid:effectief warmte overbrengen om oververhitting van de wafel te voorkomen.

▪Sterke corrosieweerstand:kan zich tegen erosie door diverse corrosieve gassen en plasma verzetten.

▪Aangepaste service:Grafieten steuntafels in verschillende maten en vormen kunnen worden aangepast aan de behoeften van de klant.

Productvoordelen

▪Verbeter de filmkwaliteit:Zorg voor een uniforme filmafzetting en verbeter de filmkwaliteit.

▪Verleng de levensduur van apparatuur:Uitstekende corrosieweerstand, verleng de levensduur van PECVD-apparatuur.

▪Verlaag de productiekosten:Hoogwaardige grafiettrays kunnen het uitvalpercentage verminderen en de productiekosten verlagen.