PECVD Grafiet Wafer-ondersteuning

VET Energy PECVD-procesgrafietwafelsteun is een kernverbruiksartikel ontworpen voor het PECVD-proces (plasma verbeterde chemische dampafzetting). Dit product is gemaakt van grafietmateriaal met hoge zuiverheid en hoge dichtheid, met uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand, maatstabiliteit en andere kenmerken, en kan een stabiel ondersteuningsplatform bieden voor het PECVD-proces, om de uniformiteit en vlakheid van filmafzetting te garanderen.

Het "grafietondersteuning"-ontwerp van de grafietwafelondersteuning van VET Energy kan de wafel niet alleen effectief ondersteunen, maar ook thermische stabiliteit bieden in de PECVD-omgeving met hoge temperaturen en hoge druk om de stabiliteit van het proces te garanderen.

VET Energy PECVD-procesgrafietwafelsteun heeft de volgende kenmerken:

▪Hoge zuiverheid:extreem laag onzuiverheidsgehalte, vermijd vervuiling van de film, om de kwaliteit van de film te garanderen.

▪Hoge dichtheid:hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen PECVD-omgevingen met hoge temperaturen en hoge druk.

▪Goede maatvastheid:kleine maatveranderingen bij hoge temperaturen om de stabiliteit van het proces te garanderen.

▪Uitstekende thermische geleidbaarheid:effectief warmte overbrengen om oververhitting van de wafel te voorkomen.

▪Sterke corrosieweerstand:In staat om erosie door verschillende corrosieve gassen en plasma te weerstaan.

▪Aangepaste service:Grafieten steuntafels in verschillende maten en vormen kunnen worden aangepast aan de behoeften van de klant.