PECVD लोडिङ ट्रे डिपोजिसन ग्रेफाइट ट्रे

छोटो विवरण:

VET Energy को PECVD लोडिङ ट्रे डिपोजिसनको समयमा वेफरहरूको लागि सुरक्षित र समर्थन प्रदान गर्न, निक्षेप प्रक्रियाको स्थिरता र गुणस्तर सुधार गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसको उत्कृष्ट ताप प्रतिरोधको साथ, ग्रेफाइट ट्रेले PECVD चेम्बरहरू भित्र एक नियन्त्रित वातावरण कायम राख्न मद्दत गर्दछ, प्रदूषणको जोखिम कम गर्दै र उच्च प्रक्रिया दक्षता सुनिश्चित गर्दछ।


उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

VET Energy PECVD लोडिङ ट्रे PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल भाप डिपोजिसन) प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको सटीक क्यारियर हो। यो उच्च-गुणवत्ताको निक्षेप ग्रेफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेको छ। यसमा उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र अन्य विशेषताहरू छन्। यसले PECVD प्रक्रियाको लागि एक स्थिर क्यारियर प्लेटफर्म प्रदान गर्न सक्छ र फिल्म डिपोजिसनको एकरूपता र समतलता सुनिश्चित गर्न सक्छ।

VET Energy PECVD लोडिङ ट्रेहरू अर्धचालक, फोटोभोल्टिक, LED र अन्य क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। उदाहरणका लागि:

▪ सेमिकन्डक्टर: सिलिकन वेफर्स र एपिटेक्सियल वेफर्स जस्ता सेमीकन्डक्टर सामग्रीहरूको लागि PECVD प्रक्रिया।

▪ फोटोभोल्टिक: सौर्य सेल पातलो फिल्महरूको लागि PECVD प्रक्रिया।

▪ LED: LED चिपहरूको लागि PECVD प्रक्रिया।

उत्पादन लाभहरू

चलचित्र गुणस्तर सुधार:एकसमान फिल्म निक्षेप सुनिश्चित गर्नुहोस् र फिल्मको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्।

उपकरण जीवन विस्तार गर्नुहोस्:उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध, PECVD उपकरण को सेवा जीवन विस्तार।

उत्पादन लागत घटाउनुहोस्:उच्च गुणस्तरको ग्रेफाइट ट्रेले स्क्र्याप दर घटाउन र उत्पादन लागत घटाउन सक्छ।

SGL बाट ग्रेफाइट सामग्री:

विशिष्ट प्यारामिटर: R6510

अनुक्रमणिका परीक्षण मानक मूल्य एकाइ
अनाजको औसत आकार ISO 13320 १० μm
बल्क घनत्व DIN IEC 60413/204 १.८३ g/cm3
खुला porosity DIN66133 १० %
मध्यम छिद्र आकार DIN66133 १.८ μm
पारगम्यता DIN 51935 ०.०६ cm²/s
रकवेल कठोरता HR5/100 DIN IEC60413/303 ९० HR
विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता DIN IEC 60413/402 १३ μΩm
लचक बल DIN IEC 60413/501 60 MPa
संकुचित शक्ति DIN 51910 130 MPa
युवाको मोड्युलस DIN 51915 11.5×10³ MPa
थर्मल विस्तार (20-200 ℃) DIN 51909 ४.२X१०-6 K-1
थर्मल चालकता (20 ℃) DIN 51908 १०५ Wm-1K-1

यो विशेष गरी G12 ठूलो आकारको वेफर प्रशोधनलाई समर्थन गर्दै उच्च दक्षता सौर्य सेल निर्माणको लागि डिजाइन गरिएको हो। अनुकूलित क्यारियर डिजाइनले थ्रुपुटलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ, उच्च उपज दर र कम उत्पादन लागत सक्षम पार्दै।

ग्रेफाइट डुङ्गा
वस्तु टाइप गर्नुहोस् नम्बर वेफर वाहक
PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - 156 श्रृंखला 156-13 ग्रेफाइट डुङ्गा १४४
156-19 ग्रेफाइट डुङ्गा २१६
156-21 ग्रेफाइट डुङ्गा २४०
156-23 ग्रेफाइट डुङ्गा ३०८
PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - 125 श्रृंखला 125-15 ग्रेफाइट डुङ्गा १९६
125-19 ग्रेफाइट डुङ्गा २५२
125-21 ग्रेफाइट डुङ्गा 280
उत्पादन लाभहरू
कम्पनी ग्राहकहरु

  • अघिल्लो:
  • अर्को:

  • व्हाट्सएप अनलाइन च्याट!