VET Energy PECVD लोडिङ ट्रे PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल भाप डिपोजिसन) प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको सटीक क्यारियर हो। यो उच्च-गुणवत्ताको निक्षेप ग्रेफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेको छ। यसमा उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र अन्य विशेषताहरू छन्। यसले PECVD प्रक्रियाको लागि एक स्थिर क्यारियर प्लेटफर्म प्रदान गर्न सक्छ र फिल्म डिपोजिसनको एकरूपता र समतलता सुनिश्चित गर्न सक्छ।
VET Energy PECVD लोडिङ ट्रेहरू अर्धचालक, फोटोभोल्टिक, LED र अन्य क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। उदाहरणका लागि:
▪ सेमिकन्डक्टर: सिलिकन वेफर्स र एपिटेक्सियल वेफर्स जस्ता सेमीकन्डक्टर सामग्रीहरूको लागि PECVD प्रक्रिया।
▪ फोटोभोल्टिक: सौर्य सेल पातलो फिल्महरूको लागि PECVD प्रक्रिया।
▪ LED: LED चिपहरूको लागि PECVD प्रक्रिया।
उत्पादन लाभहरू
▪चलचित्र गुणस्तर सुधार:एकसमान फिल्म निक्षेप सुनिश्चित गर्नुहोस् र फिल्मको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्।
▪उपकरण जीवन विस्तार गर्नुहोस्:उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध, PECVD उपकरण को सेवा जीवन विस्तार।
▪उत्पादन लागत घटाउनुहोस्:उच्च गुणस्तरको ग्रेफाइट ट्रेले स्क्र्याप दर घटाउन र उत्पादन लागत घटाउन सक्छ।
SGL बाट ग्रेफाइट सामग्री:
विशिष्ट प्यारामिटर: R6510 | |||
अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | मूल्य | एकाइ |
अनाजको औसत आकार | ISO 13320 | १० | μm |
बल्क घनत्व | DIN IEC 60413/204 | १.८३ | g/cm3 |
खुला porosity | DIN66133 | १० | % |
मध्यम छिद्र आकार | DIN66133 | १.८ | μm |
पारगम्यता | DIN 51935 | ०.०६ | cm²/s |
रकवेल कठोरता HR5/100 | DIN IEC60413/303 | ९० | HR |
विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | DIN IEC 60413/402 | १३ | μΩm |
लचक बल | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
संकुचित शक्ति | DIN 51910 | 130 | MPa |
युवाको मोड्युलस | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
थर्मल विस्तार (20-200 ℃) | DIN 51909 | ४.२X१०-6 | K-1 |
थर्मल चालकता (20 ℃) | DIN 51908 | १०५ | Wm-1K-1 |
यो विशेष गरी G12 ठूलो आकारको वेफर प्रशोधनलाई समर्थन गर्दै उच्च दक्षता सौर्य सेल निर्माणको लागि डिजाइन गरिएको हो। अनुकूलित क्यारियर डिजाइनले थ्रुपुटलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ, उच्च उपज दर र कम उत्पादन लागत सक्षम पार्दै।
वस्तु | टाइप गर्नुहोस् | नम्बर वेफर वाहक |
PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - 156 श्रृंखला | 156-13 ग्रेफाइट डुङ्गा | १४४ |
156-19 ग्रेफाइट डुङ्गा | २१६ | |
156-21 ग्रेफाइट डुङ्गा | २४० | |
156-23 ग्रेफाइट डुङ्गा | ३०८ | |
PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - 125 श्रृंखला | 125-15 ग्रेफाइट डुङ्गा | १९६ |
125-19 ग्रेफाइट डुङ्गा | २५२ | |
125-21 ग्रेफाइट डुङ्गा | 280 |