VET एनर्जी ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर होल्डर PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल भाप डिपोजिसन) प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको एक सटीक क्यारियर हो। यो उच्च-गुणस्तरको ग्रेफाइट सब्सट्रेट होल्डर उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेको छ, उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र अन्य विशेषताहरूको साथ। यसले PECVD प्रक्रियाको लागि एक स्थिर समर्थन प्लेटफर्म प्रदान गर्न सक्छ र फिल्म डिपोजिसनको एकरूपता र समतलता सुनिश्चित गर्न सक्छ।
VET Energy PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थन तालिकामा निम्न विशेषताहरू छन्:
▪उच्च शुद्धता:अत्यन्त कम अशुद्धता सामग्री, फिल्मको प्रदूषणबाट बच्न, फिल्म गुणस्तर सुनिश्चित गर्नुहोस्।
▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान र उच्च दबाव PECVD वातावरण सामना गर्न सक्छ।
▪राम्रो आयामी स्थिरता:उच्च तापमानमा सानो आयामी परिवर्तन, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित गर्दै।
▪उत्कृष्ट थर्मल चालकता:प्रभावकारी रूपमा वेफर ओभरहेटिंग रोक्न गर्मी स्थानान्तरण।
▪बलियो जंग प्रतिरोध:विभिन्न संक्षारक ग्याँस र प्लाज्मा द्वारा क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्छ।
▪अनुकूलित सेवा:विभिन्न आकार र आकारहरूको ग्रेफाइट समर्थन तालिकाहरू ग्राहक आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।
उत्पादन लाभहरू
▪चलचित्र गुणस्तर सुधार:एकसमान फिल्म निक्षेप सुनिश्चित गर्नुहोस् र फिल्मको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्।
▪उपकरण जीवन विस्तार गर्नुहोस्:उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध, PECVD उपकरण को सेवा जीवन विस्तार।
▪उत्पादन लागत घटाउनुहोस्:उच्च गुणस्तरको ग्रेफाइट ट्रेले स्क्र्याप दर घटाउन र उत्पादन लागत घटाउन सक्छ।
SGL बाट ग्रेफाइट सामग्री:
| विशिष्ट प्यारामिटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | मूल्य | एकाइ |
| अनाजको औसत आकार | ISO 13320 | १० | μm |
| बल्क घनत्व | DIN IEC 60413/204 | १.८३ | g/cm3 |
| खुला porosity | DIN66133 | १० | % |
| मध्यम छिद्र आकार | DIN66133 | १.८ | μm |
| पारगम्यता | DIN 51935 | ०.०६ | cm²/s |
| रकवेल कठोरता HR5/100 | DIN IEC60413/303 | ९० | HR |
| विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | DIN IEC 60413/402 | १३ | μΩm |
| लचक बल | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| संकुचित शक्ति | DIN 51910 | 130 | MPa |
| युवाको मोड्युलस | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| थर्मल विस्तार (20-200 ℃) | DIN 51909 | ४.२X१०-6 | K-1 |
| थर्मल चालकता (20 ℃) | DIN 51908 | १०५ | Wm-1K-1 |
यो विशेष गरी G12 ठूलो आकारको वेफर प्रशोधनलाई समर्थन गर्दै उच्च दक्षता सौर्य सेल निर्माणको लागि डिजाइन गरिएको हो। अनुकूलित क्यारियर डिजाइनले थ्रुपुटलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ, उच्च उपज दर र कम उत्पादन लागत सक्षम पार्दै।
| वस्तु | टाइप गर्नुहोस् | नम्बर वेफर वाहक |
| PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - 156 श्रृंखला | 156-13 ग्रेफाइट डुङ्गा | १४४ |
| 156-19 ग्रेफाइट डुङ्गा | २१६ | |
| 156-21 ग्रेफाइट डुङ्गा | २४० | |
| 156-23 ग्रेफाइट डुङ्गा | ३०८ | |
| PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - 125 श्रृंखला | 125-15 ग्रेफाइट डुङ्गा | १९६ |
| 125-19 ग्रेफाइट डुङ्गा | २५२ | |
| 125-21 ग्रेफाइट डुङ्गा | 280 |
