PECVD ग्रेफाइट वेफर समर्थन

VET Energy PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थन PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल वाष्प निक्षेप) प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको कोर उपभोग्य हो। यो उत्पादन उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेको छ, उत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र अन्य विशेषताहरू सहित, PECVD प्रक्रियाको लागि स्थिर समर्थन प्लेटफर्म प्रदान गर्न सक्छ, फिल्म जम्माको एकरूपता र समतलता सुनिश्चित गर्न।

VET ऊर्जा ग्रेफाइट वेफर समर्थनको "ग्रेफाइट समर्थन" डिजाइनले वेफरलाई प्रभावकारी रूपमा समर्थन मात्र गर्न सक्दैन, तर प्रक्रियाको स्थिरता सुनिश्चित गर्न उच्च तापक्रम र उच्च दबाव PECVD वातावरणमा थर्मल स्थिरता पनि प्रदान गर्दछ।

VET ऊर्जा PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थन निम्न विशेषताहरू छन्:

▪उच्च शुद्धता:अत्यन्त कम अशुद्धता सामग्री, फिल्मको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न, फिल्मको प्रदूषणबाट बच्न।

▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान र उच्च दबाव PECVD वातावरण सामना गर्न सक्छ।

▪राम्रो आयामी स्थिरता:प्रक्रियाको स्थिरता सुनिश्चित गर्न उच्च तापमानमा साना आयामी परिवर्तनहरू।

▪उत्कृष्ट थर्मल चालकता:प्रभावकारी रूपमा वेफर ओभरहेटिंग रोक्न गर्मी स्थानान्तरण।

▪बलियो जंग प्रतिरोध:विभिन्न संक्षारक ग्याँस र प्लाज्मा द्वारा क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्षम।

▪अनुकूलित सेवा:विभिन्न आकार र आकारहरूको ग्रेफाइट समर्थन तालिकाहरू ग्राहक आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।