Susceptor tal-Barmil Miksijin SiC

SiC Miksija Barrel Susceptor Image Dehru

Deskrizzjoni qasira:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor huwa prodott ta 'prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandha reżistenza tas-sħana super tajba u uniformità termali, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li tagħmilha s-soluzzjoni perfetta għall-applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfer.

Post ta' Oriġini:Iċ-Ċina

Struttura tal-kristall:fażi FCCβ

Densità:3.21 g/ċm;

Ebusija:2500 Vickers;

Daqs tal-qamħ:2 ~ 10μm;

Purità Kimika:99.99995%;

Kapaċità tas-Sħana:640J·kg-1·K-1;

Temperatura tas-sublimazzjoni:2700℃;

Qawwa Flessurali:415 Mpa (RT 4-Point);

Modulu ta' Young:430 Gpa (liwja 4pt, 1300℃);

Espansjoni Termali (CTE):4.5 10-6K-1;

Konduttività Termali:300（W/MK）;

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Susceptor tal-kanna is a ċavettakomponent użat f'diversi proċessi ta 'manifattura ta' semikondutturi.Aħna nużaw it-teknoloġija privattiva tagħna biex nagħmlu l-susceptor tal-kannamapurità estremament għolja,tajbakisiuniformitàu ħajja ta 'servizz eċċellenti, kif ukollreżistenza kimika għolja u proprjetajiet ta 'stabbiltà termali.

L-Enerġija tal-VET hija ilmanifattur reali ta 'grafita apposta u prodotti tal-karbur tas-silikon b'kisja CVD,jistgħu jfornuvarjiPartijiet personalizzati għal semikondutturi u industrija fotovoltajka. Otim tekniku ur ġej mill-aqwa istituzzjonijiet ta 'riċerka domestiċi, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonaligħalik.

Aħna kontinwament niżviluppaw proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati,uħadmu teknoloġija esklussiva privattiva, li tista 'tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar strett u inqas suxxettibbli għal distakk.

Fikel tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja uuniformità termali
3. Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta 'servizz itwal u aktar fit-tul

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-kristall	Fażi FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-qamħ	2 ~ 10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Qawwa tal-flessjoni	415 MPa RT 4-punti
杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1