Susceptor tal-grafita miksija mill-karbur tas-silikon għall-inċiżjoni LED

Deskrizzjoni qasira:

Susceptor tal-karbur tas-silikon għall-inċiżjoni LED (trej SiC) huwa aċċessorju speċjali għall-inċiżjoni tas-silikon fil-fond (magna tal-inċiżjoni ICP). trasportatur tal-wejfer, magħruf ukoll bħala trasportatur tal-wejfer, trasportatur tal-wejfer tas-silikon, magħruf ukoll bħala wejfer tal-but. Użat ħafna fis-semikondutturi CVD u sputtering vakwu.


Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Susceptor miksi mill-karbur tas-silikon huwaa ċavettakomponent użat f'diversi proċessi ta 'manifattura ta' semikondutturi.Aħna nużaw it-teknoloġija privattiva tagħna biex nagħmlu s-susceptor miksi bil-karbur tas-silikonpurità estremament għolja,tajbakisiuniformitàu ħajja ta 'servizz eċċellenti, kif ukollreżistenza kimika għolja u proprjetajiet ta 'stabbiltà termali.

L-Enerġija tal-VET hija ilmanifattur reali ta 'grafita apposta u prodotti tal-karbur tas-silikon b'kisja CVD,jistgħu jfornuvarjiPartijiet personalizzati għal semikondutturi u industrija fotovoltajka. Otim tekniku ur ġej mill-aqwa istituzzjonijiet ta 'riċerka domestiċi, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonaligħalik.

Aħna kontinwament niżviluppaw proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati,uħadmu teknoloġija esklussiva privattiva, li tista 'tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar strett u inqas suxxettibbli għal distakk.

Fikel tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700.
2. Purità għolja uuniformità termali
3. Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta 'servizz itwal u aktar fit-tul

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi

性质 / Proprjetà

典型数值 / Valur Tipiku

晶体结构 / Struttura tal-kristall

Fażi FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3.21 g/ċm³

硬度 / Ebusija

2500 维氏硬度(tagħbija ta' 500g)

晶粒大小 / Daqs tal-qamħ

2 ~ 10μm

纯度 / Purità Kimika

99.99995%

热容 / Kapaċità tas-Sħana

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni

2700℃

抗弯强度 / Qawwa tal-flessjoni

415 MPa RT 4-punti

杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ

430 Gpa 4pt liwja, 1300℃

导热系数 / ThermalKonduttività

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Bi pjaċir iżżur il-fabbrika tagħna, ejja jkollna aktar diskussjoni!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Chat Online WhatsApp!