Trej tat-Tagħbija PECVD Trej tal-Grafit tad-Depożizzjoni

PECVD Tagħbija Trej Deposizzjoni Graphite Image Dehru

Deskrizzjoni qasira:

It-Tilar tat-Tagħbija PECVD ta 'VET Energy huwa ddisinjat biex jipprovdi appoġġ sigur u uniformi għall-wejfers waqt id-depożizzjoni, u jtejjeb il-konsistenza u l-kwalità tal-proċess ta' depożizzjoni. Bir-reżistenza eċċellenti tas-sħana tiegħu, it-Tar tal-Graphite jgħin biex jinżamm ambjent ikkontrollat ġewwa l-kmamar tal-PECVD, inaqqas ir-riskju ta 'kontaminazzjoni u jiżgura effiċjenza għolja fil-proċess.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

It-trej tat-tagħbija tal-VET Energy PECVD huwa trasportatur ta 'preċiżjoni ddisinjat għall-proċess PECVD (depożizzjoni tal-fwar kimiku mtejjeb bil-plażma). Dan it-trej tal-grafita ta 'depożizzjoni ta' kwalità għolja huwa magħmul minn materjal tal-grafita ta 'purità għolja u ta' densità għolja. Għandu reżistenza eċċellenti għal temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra. Jista 'jipprovdi pjattaforma ta' trasportatur stabbli għall-proċess PECVD u jiżgura l-uniformità u l-flatness tad-depożizzjoni tal-film.

It-trejs tat-tagħbija tal-VET Energy PECVD jintużaw ħafna fis-semikondutturi, fotovoltajċi, LED u oqsma oħra. Per eżempju:

▪ Semikondutturi: proċess PECVD għal materjali semikondutturi bħal wejfers tas-silikon u wejfers epitassjali.

▪ Fotovoltajku: proċess PECVD għal films irqaq taċ-ċelloli solari.

▪ LED: proċess PECVD għal ċipep LED.

Vantaġġi tal-Prodott

▪Ittejjeb il-kwalità tal-film:Tiżgura depożizzjoni uniformi tal-film u ttejjeb il-kwalità tal-film.

▪Estendi l-ħajja tat-tagħmir:Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti, testendi l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir PECVD.

▪Naqqas l-ispejjeż tal-produzzjoni:Trejs tal-grafita ta 'kwalità għolja jistgħu jnaqqsu r-rata ta' ruttam u jnaqqsu l-ispejjeż tal-produzzjoni.

Materjal tal-grafita minn SGL:

Parametru tipiku: R6510
Indiċi	Standard tat-test	Valur	Unità
Daqs medju tal-qamħ	ISO 13320	10	μm
Densità tal-massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ċm³
Porożità miftuħa	DIN66133	10	%
Daqs medju tal-pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0.06	ċm²/s
Ebusija Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Reżistività elettrika speċifika	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Saħħa tal-flessjoni	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Saħħa kompressiva	DIN 51910	130	MPa
Modulus ta' Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Espansjoni termali (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduttività termali (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta 'ċelluli solari b'effiċjenza għolja, li jappoġġja l-ipproċessar tal-wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn tal-ġarrier ottimizzat iżid b'mod sinifikanti l-fluss, li jippermetti rati ogħla ta 'rendiment u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.

Oġġett	Tip	Numru tal-wejfer trasportatur
PEVCD Grephite boat - Is-serje 156	156-13 dgħajsa grephite	144
	156-19 dgħajsa grephite	216
	156-21 dgħajsa grephite	240
	156-23 dgħajsa tal-grafita	308
PEVCD Grephite boat - Is-serje 125	125-15 dgħajsa grephite	196
	125-19 dgħajsa grephite	252
	125-21 dgħajsa grphite	280