Detentur tal-wejfer tas-sottostrat tal-grafita għal PECVD

Detentur tal-wejfer tas-sottostrat tal-grafita għal Immaġni Dehru PECVD

Deskrizzjoni qasira:

Id-Detentur tas-Sustrat tal-Graphite tal-VET Energy huwa mfassal biex iżomm l-allinjament u l-istabbiltà tal-wejfer matul il-proċess PECVD, jipprevjeni l-kontaminazzjoni u jimminimizza r-riskju ta 'ħsara. Id-Detentur tal-Wajfer tal-Graphite jipprovdi pjattaforma sigura u uniformi, li tiżgura li l-wejfers ikunu esposti b'mod ugwali għall-plażma għal depożitu konsistenti u ta 'kwalità għolja. Bil-konduttività termali għolja u s-saħħa eċċezzjonali tiegħu, dan id-detentur jgħin biex itejjeb l-effiċjenza ġenerali tal-proċess u l-prestazzjoni tal-prodott.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Il-VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder huwa trasportatur ta 'preċiżjoni ddisinjat għal proċess ta' PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Dan id-Detentur tas-Sustrat tal-Graphite ta 'kwalità għolja huwa magħmul minn materjal tal-grafita ta' purità għolja, ta 'densità għolja, b'reżistenza eċċellenti ta' temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra. Jista 'jipprovdi pjattaforma ta' appoġġ stabbli għall-proċess PECVD u jiżgura l-uniformità u l-flatness tad-depożizzjoni tal-film.

It-tabella ta' appoġġ tal-wejfer tal-grafita tal-proċess tal-VET Energy PECVD għandha l-karatteristiċi li ġejjin:

▪Purità għolja:kontenut ta 'impurità estremament baxx, tevita l-kontaminazzjoni tal-film, tiżgura l-kwalità tal-film.

▪Densità għolja:densità għolja, saħħa mekkanika għolja, jista 'jiflaħ temperatura għolja u ambjent PECVD ta' pressjoni għolja.

▪Stabbiltà dimensjonali tajba:bidla dimensjonali żgħira f'temperatura għolja, li tiżgura l-istabbiltà tal-proċess.

▪Konduttività termali eċċellenti:ittrasferixxi b'mod effettiv is-sħana biex tevita sħana żejda tal-wejfer.

▪Reżistenza qawwija għall-korrużjoni:jistgħu jirreżistu l-erożjoni minn diversi gassijiet korrużivi u plażma.

▪Servizz personalizzat:Tabelli ta 'appoġġ tal-grafita ta' daqsijiet u forom differenti jistgħu jiġu personalizzati skond il-ħtiġijiet tal-klijent.

Vantaġġi tal-Prodott

▪Ittejjeb il-kwalità tal-film:Tiżgura depożizzjoni uniformi tal-film u ttejjeb il-kwalità tal-film.

▪Estendi l-ħajja tat-tagħmir:Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti, testendi l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir PECVD.

▪Naqqas l-ispejjeż tal-produzzjoni:Trejs tal-grafita ta 'kwalità għolja jistgħu jnaqqsu r-rata ta' ruttam u jnaqqsu l-ispejjeż tal-produzzjoni.

Materjal tal-grafita minn SGL:

Parametru tipiku: R6510
Indiċi	Standard tat-test	Valur	Unità
Daqs medju tal-qamħ	ISO 13320	10	μm
Densità tal-massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ċm³
Porożità miftuħa	DIN66133	10	%
Daqs medju tal-pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0.06	ċm²/s
Ebusija Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Reżistività elettrika speċifika	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Saħħa tal-flessjoni	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Saħħa kompressiva	DIN 51910	130	MPa
Modulus ta' Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Espansjoni termali (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduttività termali (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta 'ċelluli solari b'effiċjenza għolja, li jappoġġja l-ipproċessar tal-wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn tal-ġarrier ottimizzat iżid b'mod sinifikanti l-fluss, li jippermetti rati ogħla ta 'rendiment u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.

Oġġett	Tip	Numru tal-wejfer trasportatur
PEVCD Grephite boat - Is-serje 156	156-13 dgħajsa grephite	144
	156-19 dgħajsa grephite	216
	156-21 dgħajsa grephite	240
	156-23 dgħajsa tal-grafita	308
PEVCD Grephite boat - Is-serje 125	125-15 dgħajsa grephite	196
	125-19 dgħajsa grephite	252
	125-21 dgħajsa grphite	280