PECVD Graphite Wafer Appoġġ

PECVD Graphite Wafer Support Image Dehru

Deskrizzjoni qasira:

Iddisinjat għall-preċiżjoni u l-prestazzjoni, l-Appoġġ tal-Wajfer tal-Graphite ta 'VET Energy huwa l-materjal ideali għall-użu fl-ipproċessar avvanzat tal-wejfer, fejn stabbiltà termali għolja u prestazzjoni konsistenti huma kritiċi. Kemm jekk qed taħdem ma 'wejfers semikondutturi jew substrati delikati oħra, dan l-appoġġ tal-grafita ta' kwalità għolja se jsaħħaħ l-affidabbiltà tal-proċess u l-kwalità tal-prodott tiegħek, u jagħmilha komponent indispensabbli għall-manifattura moderna.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

L-appoġġ tal-wejfer tal-grafita tal-proċess tal-VET Energy PECVD huwa konsumabbli tal-qalba ddisinjat għall-proċess PECVD (depożizzjoni tal-fwar kimiku mtejjeb bil-plażma). Dan il-prodott huwa magħmul minn materjal tal-grafita ta 'purità għolja, ta' densità għolja, b'reżistenza eċċellenti ta 'temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra, jista' jipprovdi pjattaforma ta 'appoġġ stabbli għall-proċess PECVD, biex jiżgura l-uniformità u l-flatness tad-depożizzjoni tal-film.

Id-disinn ta '"appoġġ tal-grafita" ta' appoġġ tal-wejfer tal-grafita tal-VET Energy jista 'mhux biss jappoġġja b'mod effettiv il-wejfer, iżda wkoll jipprovdi stabbiltà termali fl-ambjent PECVD ta' temperatura għolja u pressjoni għolja biex jiżgura l-istabbiltà tal-proċess.

L-appoġġ tal-wejfer tal-grafita tal-proċess tal-VET Energy PECVD għandu l-karatteristiċi li ġejjin:

▪Purità għolja:kontenut ta 'impurità estremament baxx, tevita l-kontaminazzjoni tal-film, biex tiżgura l-kwalità tal-film.

▪Densità għolja:densità għolja, saħħa mekkanika għolja, jista 'jiflaħ temperatura għolja u ambjent PECVD ta' pressjoni għolja.

▪Stabbiltà dimensjonali tajba:bidliet dimensjonali żgħar f'temperatura għolja biex jiżguraw l-istabbiltà tal-proċess.

▪Konduttività termali eċċellenti:ittrasferixxi b'mod effettiv is-sħana biex tevita sħana żejda tal-wejfer.

▪Reżistenza qawwija għall-korrużjoni:Kapaċi jirreżisti l-erożjoni minn diversi gassijiet korrużivi u plażma.

▪Servizz personalizzat:Tabelli ta 'appoġġ tal-grafita ta' daqsijiet u forom differenti jistgħu jiġu personalizzati skont il-ħtiġijiet tal-klijent.

Materjal tal-grafita minn SGL:

Parametru tipiku: R6510
Indiċi	Standard tat-test	Valur	Unità
Daqs medju tal-qamħ	ISO 13320	10	μm
Densità tal-massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ċm³
Porożità miftuħa	DIN66133	10	%
Daqs medju tal-pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0.06	ċm²/s
Ebusija Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Reżistività elettrika speċifika	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Saħħa tal-flessjoni	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Saħħa kompressiva	DIN 51910	130	MPa
Modulus ta' Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Espansjoni termali (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduttività termali (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta 'ċelluli solari b'effiċjenza għolja, li jappoġġja l-ipproċessar tal-wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn tal-ġarrier ottimizzat iżid b'mod sinifikanti l-fluss, li jippermetti rati ogħla ta 'rendiment u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.

Oġġett	Tip	Numru tal-wejfer trasportatur
PEVCD Grephite boat - Is-serje 156	156-13 dgħajsa grephite	144
	156-19 dgħajsa grephite	216
	156-21 dgħajsa grephite	240
	156-23 dgħajsa tal-grafita	308
PEVCD Grephite boat - Is-serje 125	125-15 dgħajsa grephite	196
	125-19 dgħajsa grephite	252
	125-21 dgħajsa grphite	280