Dgħajsa tal-wejfer tal-grafita tal-VET Energy hija konsumabbli ta 'kwalità għolja mfassla għall-proċessi ta' depożizzjoni f'industriji semikondutturi, fotovoltajċi u oħrajn. Magħmul minn materjal tal-grafita ta 'purità għolja u densità għolja, dan il-prodott għandu reżistenza eċċellenti ta' temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra, u jista 'jipprovdi pjattaforma ta' trasportatur stabbli għall-proċess ta 'depożizzjoni biex jiżgura l-uniformità u l-flatness tad-depożizzjoni ta' film irqiq .
Id-dgħajsa tal-grafita PECVD minn VET Energy hija mmanifatturata b'grafita iżostatika ta 'purità għolja, li fiha porożità taħt il-15% u ħruxija tal-wiċċ Ra≤1.6μm. L-istabbiltà dimensjonali superjuri u l-konduttività termali jiżguraw depożizzjoni uniformi tal-film u effiċjenza msaħħa taċ-ċelluli.
Materjal tal-grafita minn SGL:
Parametru tipiku: R6510 | |||
Indiċi | Standard tat-test | Valur | Unità |
Daqs medju tal-qamħ | ISO 13320 | 10 | μm |
Densità tal-massa | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/ċm3 |
Porożità miftuħa | DIN66133 | 10 | % |
Daqs medju tal-pori | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeabilità | DIN 51935 | 0.06 | ċm²/s |
Ebusija Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Reżistività elettrika speċifika | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Saħħa tal-flessjoni | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Saħħa kompressiva | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus ta' Young | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
Espansjoni termali (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Konduttività termali (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta 'ċelluli solari b'effiċjenza għolja, li jappoġġja l-ipproċessar tal-wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn tal-ġarrier ottimizzat iżid b'mod sinifikanti l-fluss, li jippermetti rati ogħla ta 'rendiment u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.
Oġġett | Tip | Numru tal-wejfer trasportatur |
PEVCD Grephite boat - Is-serje 156 | 156-13 dgħajsa grephite | 144 |
156-19 dgħajsa grephite | 216 | |
156-21 dgħajsa grephite | 240 | |
156-23 dgħajsa tal-grafita | 308 | |
PEVCD Grephite boat - Is-serje 125 | 125-15 dgħajsa grephite | 196 |
125-19 dgħajsa grephite | 252 | |
125-21 dgħajsa grphite | 280 |