Trasportatur tal-grafita għall-proċess PECVD

Deskrizzjoni qasira:

Enerġija VETPECVD Graphite Boat for Solar Panel huwa komponent avvanzat iddisinjat speċifikament għall-produzzjoni ta 'pannelli solari ta' prestazzjoni għolja. Użat fil-proċessi ta 'Deposizzjoni Kimika Mtejba tal-Fwar tal-Plasma (PECVD), din id-dgħajsa tal-grafita tiżgura l-aħjar immaniġġjar tal-materjal u depożizzjoni uniformi ta' films irqaq fuq ċelloli solari. Inġinerija għal preċiżjoni u durabilità, tipprovdi konduttività termali superjuri, reżistenza għolja għall-korrużjoni, u kontaminazzjoni minima, li huma essenzjali għall-produzzjoni ta 'pannelli solari effiċjenti u ta' kwalità għolja.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Enerġija VETIt-trasportatur tal-grafita tal-proċess PECVD huwa konsumabbli ta 'kwalità għolja imfassal apposta għall-proċess PECVD (depożizzjoni tal-fwar kimiku mtejjeb bil-plażma). Dan it-trasportatur tal-grafita huwa magħmul minn materjal tal-grafita ta 'purità għolja u ta' densità għolja, b'reżistenza eċċellenti għal temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra, jista 'jipprovdi pjattaforma ta' trasportatur stabbli għall-proċess PECVD, biex jiżgura l-uniformità u l-flatness ta 'film irqiq depożizzjoni.

It-trasportaturi tal-grafita għall-proċess PECVD għandhom il-karatteristiċi li ġejjin:

▪ Purità għolja: kontenut ta 'impurità estremament baxx, tevita l-kontaminazzjoni tal-film u tiżgura l-kwalità tal-film.

▪ Densità għolja: densità għolja, saħħa mekkanika għolja, kapaċi tiflaħ temperatura għolja u ambjent PECVD ta 'pressjoni għolja.

▪ Stabbiltà dimensjonali tajba: bidla dimensjonali żgħira f'temperatura għolja, li tiżgura stabbiltà tal-proċess.

▪ Konduttività termali eċċellenti: ittrasferixxi b'mod effettiv is-sħana biex tevita sħana żejda tal-wejfer.

▪ Reżistenza qawwija għall-korrużjoni: kapaċi tirreżisti l-erożjoni minn diversi gassijiet korrużivi u plażma.

▪ Servizz personalizzat: trasportaturi tal-grafita ta 'daqsijiet u forom differenti jistgħu jiġu personalizzati skont il-ħtiġijiet tal-klijent.

Materjal tal-grafita minn SGL:

Parametru tipiku: R6510
Indiċi	Standard tat-test	Valur	Unità
Daqs medju tal-qamħ	ISO 13320	10	μm
Densità tal-massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ċm³
Porożità miftuħa	DIN66133	10	%
Daqs medju tal-pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0.06	ċm²/s
Ebusija Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Reżistività elettrika speċifika	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Saħħa tal-flessjoni	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Saħħa kompressiva	DIN 51910	130	MPa
Modulus ta' Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Espansjoni termali (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduttività termali (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta 'ċelluli solari b'effiċjenza għolja, li jappoġġja l-ipproċessar tal-wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn tal-ġarrier ottimizzat iżid b'mod sinifikanti l-fluss, li jippermetti rati ogħla ta 'rendiment u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.

Oġġett	Tip	Numru tal-wejfer trasportatur
PEVCD Grephite boat - Is-serje 156	156-13 dgħajsa grephite	144
	156-19 dgħajsa grephite	216
	156-21 dgħajsa grephite	240
	156-23 dgħajsa tal-grafita	308
PEVCD Grephite boat - Is-serje 125	125-15 dgħajsa grephite	196
	125-19 dgħajsa grephite	252
	125-21 dgħajsa grphite	280