pemanas salutan seramik silikon karbida

Doktor haiwan-ChinaSeramik Silikon KarbidaSalutan ialah salutan pelindung berprestasi tinggi yang diperbuat daripada sangat keras dan tahan haussilikon karbida (SiC)bahan, yang memberikan rintangan kakisan kimia yang sangat baik dan kestabilan suhu tinggi. Ciri-ciri ini adalah penting dalam pengeluaran semikonduktor, jadiSalutan Seramik Silikon Karbidadigunakan secara meluas dalam komponen utama peralatan pembuatan semikonduktor.

Peranan khusus Vet-ChinaSeramik Silikon KarbidaSalutan dalam pengeluaran semikonduktor adalah seperti berikut:

Meningkatkan ketahanan peralatan:Salutan Seramik Silikon Karbida Salutan Seramik Silikon Karbida menyediakan perlindungan permukaan yang sangat baik untuk peralatan pembuatan semikonduktor dengan kekerasan dan rintangan haus yang sangat tinggi. Terutamanya dalam persekitaran proses suhu tinggi dan sangat menghakis, seperti pemendapan wap kimia (CVD) dan etsa plasma, salutan secara berkesan boleh menghalang permukaan peralatan daripada rosak akibat hakisan kimia atau haus fizikal, dengan itu memanjangkan hayat perkhidmatan dengan ketara. peralatan dan mengurangkan masa henti yang disebabkan oleh penggantian dan pembaikan yang kerap.

Meningkatkan ketulenan proses:Dalam proses pembuatan semikonduktor, pencemaran kecil boleh menyebabkan kecacatan produk. Kelonggaran kimia Salutan Seramik Silikon Karbida membolehkannya kekal stabil dalam keadaan yang melampau, menghalang bahan daripada melepaskan zarah atau kekotoran, dengan itu memastikan ketulenan alam sekitar proses. Ini amat penting untuk langkah pembuatan yang memerlukan ketepatan tinggi dan kebersihan tinggi, seperti PECVD dan implantasi ion.

Optimumkan pengurusan haba:Dalam pemprosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti pemprosesan terma pantas (RTP) dan proses pengoksidaan, kekonduksian haba yang tinggi bagi Salutan Seramik Silikon Karbida membolehkan pengagihan suhu seragam di dalam peralatan. Ini membantu mengurangkan tekanan haba dan ubah bentuk bahan yang disebabkan oleh turun naik suhu, dengan itu meningkatkan ketepatan dan konsistensi pembuatan produk.

Menyokong persekitaran proses yang kompleks:Dalam proses yang memerlukan kawalan atmosfera yang kompleks, seperti proses goresan ICP dan PSS, kestabilan dan rintangan pengoksidaan Salutan Seramik Silikon Karbida memastikan bahawa peralatan mengekalkan prestasi yang stabil dalam operasi jangka panjang, mengurangkan risiko kemerosotan bahan atau kerosakan peralatan akibat kepada perubahan persekitaran.