Struktur dalaman peralatan tiub relau diterangkan secara terperinci

0

Seperti yang ditunjukkan di atas, adalah tipikal

 

Separuh masa pertama:

▪ Elemen Pemanas (gegelung pemanas):

terletak di sekeliling tiub relau, biasanya diperbuat daripada wayar rintangan, digunakan untuk memanaskan bahagian dalam tiub relau.

▪ Tiub Kuarza:

Teras relau pengoksidaan panas, diperbuat daripada kuarza ketulenan tinggi yang boleh menahan suhu tinggi dan kekal lengai secara kimia.

▪ Suapan Gas:

Terletak di bahagian atas atau sisi tiub relau, ia digunakan untuk mengangkut oksigen atau gas lain ke bahagian dalam tiub relau.

▪ Bebibir SS:

komponen yang menyambungkan tiub kuarza dan talian gas, memastikan ketat dan kestabilan sambungan.

▪ Talian Suapan Gas:

Paip yang menyambungkan MFC ke port bekalan gas untuk penghantaran gas.

▪ MFC (Pengawal Aliran Massa):

Peranti yang mengawal aliran gas di dalam tiub kuarza untuk mengawal dengan tepat jumlah gas yang diperlukan.

▪ Bolong:

Digunakan untuk mengeluarkan gas ekzos dari dalam tiub relau ke luar peralatan.

 

Bahagian bawah:

▪ Wafer Silikon dalam Pemegang:

Wafer silikon ditempatkan di dalam Pemegang khas untuk memastikan haba seragam semasa pengoksidaan.

▪ Pemegang Wafer:

Digunakan untuk memegang wafer silikon dan memastikan wafer silikon kekal stabil semasa proses.

▪ Alas:

Struktur yang memegang Pemegang wafer silikon, biasanya diperbuat daripada bahan tahan suhu tinggi.

▪ Lif:

Digunakan untuk mengangkat pemegang Wafer masuk dan keluar dari tiub kuarza untuk memuatkan dan memunggah wafer silikon secara automatik.

▪ Robot Pemindahan Wafer:

terletak di sisi peranti tiub relau, ia digunakan untuk mengeluarkan wafer silikon secara automatik dari kotak dan meletakkannya di dalam tiub relau, atau mengeluarkannya selepas pemprosesan.

▪ Karusel Penyimpanan Kaset:

Karusel penyimpanan kaset digunakan untuk menyimpan kotak yang mengandungi wafer silikon dan boleh diputar untuk akses robot.

▪ Kaset Wafer:

kaset wafer digunakan untuk menyimpan dan memindahkan wafer silikon untuk diproses.


Masa siaran: Apr-22-2024
Sembang Dalam Talian WhatsApp !