Yang MajuSiC Cantilever Paddleuntuk Pemprosesan Wafer yang dicipta oleh vet-china menyediakan penyelesaian yang sangat baik untuk pembuatan semikonduktor. Pendayung julur ini diperbuat daripada bahan SiC (silikon karbida), dan kekerasannya yang tinggi serta rintangan haba membolehkannya mengekalkan prestasi cemerlang dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis. Reka bentuk Cantilever Paddle membolehkan wafer disokong dengan pasti semasa pemprosesan, mengurangkan risiko pemecahan dan kerosakan.
SiC Cantilever Paddleialah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor seperti relau pengoksidaan, relau resapan, dan relau penyepuhlindapan, kegunaan utama adalah untuk memuat dan memunggah wafer, menyokong dan mengangkut wafer semasa proses suhu tinggi.
Struktur biasadaripadaSiCcantileverpaddle: struktur julur, tetap pada satu hujung dan bebas pada satu lagi, biasanya mempunyai reka bentuk rata dan seperti dayung.
VET Energy menggunakan bahan silikon karbida terhablur semula ketulenan tinggi untuk menjamin kualiti.
Sifat fizikal Silikon Karbida Terhablur Semula | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangkan persekitaran) |
kandungan SiC | > 99.96% |
Kandungan Si percuma | < 0.1% |
Ketumpatan pukal | 2.60-2.70 g/sm3 |
Keliangan yang ketara | < 16% |
Kekuatan mampatan | > 600MPa |
Kekuatan lenturan sejuk | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lenturan panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Pengembangan terma @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Kekonduksian terma @1200°C | 23W/m•K |
Modulus elastik | 240 GPa |
Rintangan kejutan terma | sangat baik |
Kelebihan Dayung Cantilever SiC Lanjutan VET Energy untuk Pemprosesan Wafer ialah:
-Kestabilan suhu tinggi: boleh digunakan dalam persekitaran melebihi 1600°C;
-Pekali pengembangan haba yang rendah: mengekalkan kestabilan dimensi, mengurangkan risiko warpage wafer;
-Ketulenan tinggi: risiko pencemaran logam yang lebih rendah;
-Ketidakupayaan kimia: tahan kakisan, sesuai untuk pelbagai persekitaran gas;
-Kekuatan dan kekerasan tinggi: Tahan haus, hayat perkhidmatan yang panjang;
-Kekonduksian terma yang baik: membantu dalam pemanasan wafer seragam.