PECVD लोडिंग ट्रे डिपॉझिशन ग्रेफाइट ट्रे

VET एनर्जी PECVD लोडिंग ट्रे PECVD (प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प जमा) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले एक अचूक वाहक आहे. हा उच्च-गुणवत्तेचा डिपॉझिशन ग्रेफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता, उच्च-घनता ग्रेफाइट सामग्रीचा बनलेला आहे. यात उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, मितीय स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्ये आहेत. हे PECVD प्रक्रियेसाठी एक स्थिर वाहक प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते आणि फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता आणि सपाटपणा सुनिश्चित करू शकते.

VET एनर्जी PECVD लोडिंग ट्रे सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक, LED आणि इतर फील्डमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. उदाहरणार्थ:

▪ सेमीकंडक्टर: सिलिकॉन वेफर्स आणि एपिटॅक्सियल वेफर्स सारख्या सेमीकंडक्टर सामग्रीसाठी PECVD प्रक्रिया.

▪ फोटोव्होल्टेइक: सौर सेल पातळ फिल्म्ससाठी PECVD प्रक्रिया.

▪ LED: LED चिप्ससाठी PECVD प्रक्रिया.

उत्पादन फायदे

▪चित्रपट गुणवत्ता सुधारा:एकसमान फिल्म डिपॉझिशन सुनिश्चित करा आणि फिल्म गुणवत्ता सुधारा.

▪उपकरणांचे आयुष्य वाढवा:उत्कृष्ट गंज प्रतिकार, PECVD उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवा.

▪उत्पादन खर्च कमी करा:उच्च दर्जाचे ग्रेफाइट ट्रे भंगार दर कमी करू शकतात आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकतात.