PECVD साठी ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर होल्डर

VET एनर्जी ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर होल्डर हे PECVD (प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल वाष्प जमा) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले एक अचूक वाहक आहे. हे उच्च-गुणवत्तेचे ग्रेफाइट सब्सट्रेट होल्डर उच्च-शुद्धता, उच्च-घनतेच्या ग्रेफाइट सामग्रीचे बनलेले आहे, उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिकार, गंज प्रतिकार, आयामी स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्यांसह. हे PECVD प्रक्रियेसाठी एक स्थिर समर्थन प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते आणि फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता आणि सपाटपणा सुनिश्चित करू शकते.

VET एनर्जी PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट टेबलमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कमी अशुद्धता सामग्री, चित्रपटाची दूषितता टाळा, चित्रपटाची गुणवत्ता सुनिश्चित करा.

▪उच्च घनता:उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाब PECVD वातावरणाचा सामना करू शकते.

▪चांगली मितीय स्थिरता:उच्च तापमानात लहान आयामी बदल, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करते.

▪उत्कृष्ट थर्मल चालकता:वेफर ओव्हरहाटिंग टाळण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे हस्तांतरित करा.

▪मजबूत गंज प्रतिकार:विविध संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा द्वारे धूप प्रतिकार करू शकता.

▪सानुकूलित सेवा:विविध आकार आणि आकारांचे ग्रेफाइट सपोर्ट टेबल ग्राहकांच्या गरजेनुसार सानुकूलित केले जाऊ शकतात.

उत्पादन फायदे

▪चित्रपट गुणवत्ता सुधारा:एकसमान फिल्म डिपॉझिशन सुनिश्चित करा आणि फिल्म गुणवत्ता सुधारा.

▪उपकरणांचे आयुष्य वाढवा:उत्कृष्ट गंज प्रतिकार, PECVD उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवा.

▪उत्पादन खर्च कमी करा:उच्च दर्जाचे ग्रेफाइट ट्रे भंगार दर कमी करू शकतात आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकतात.