PECVD ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट

VET एनर्जी PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट हे PECVD (प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प संचय) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले कोर उपभोग्य आहे. हे उत्पादन उच्च-शुद्धता, उच्च-घनता ग्रेफाइट सामग्रीचे बनलेले आहे, उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिकार, गंज प्रतिरोधकता, मितीय स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्यांसह, PECVD प्रक्रियेसाठी एक स्थिर समर्थन प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते, ज्यामुळे फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता आणि सपाटता सुनिश्चित होते.

VET एनर्जी ग्रेफाइट वेफर सपोर्टचे "ग्रेफाइट सपोर्ट" डिझाइन केवळ वेफरला प्रभावीपणे समर्थन देऊ शकत नाही, परंतु प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमान आणि उच्च दाब PECVD वातावरणात थर्मल स्थिरता देखील प्रदान करते.

VET एनर्जी PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर सपोर्टमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कमी अशुद्धता सामग्री, चित्रपटाची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी, चित्रपटाची दूषितता टाळा.

▪उच्च घनता:उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाब PECVD वातावरणाचा सामना करू शकते.

▪चांगली मितीय स्थिरता:प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमानात लहान आयामी बदल.

▪उत्कृष्ट थर्मल चालकता:वेफर ओव्हरहाटिंग टाळण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे हस्तांतरित करा.

▪मजबूत गंज प्रतिकार:विविध संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा द्वारे धूप प्रतिकार करण्यास सक्षम.

▪सानुकूलित सेवा:ग्राहकांच्या गरजेनुसार विविध आकार आणि आकारांच्या ग्रेफाइट सपोर्ट टेबल्स सानुकूलित केल्या जाऊ शकतात.