VET एनर्जी ग्रेफाइट वेफर बोट ही सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक आणि इतर उद्योगांमध्ये डिपॉझिशन प्रक्रियेसाठी तयार केलेली उच्च-गुणवत्तेची उपभोगयोग्य आहे. उच्च-शुद्धता, उच्च-घनता ग्रेफाइट सामग्रीपासून बनविलेले, या उत्पादनामध्ये उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोधक, मितीय स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्ये आहेत आणि पातळ फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता आणि सपाटपणा सुनिश्चित करण्यासाठी डिपॉझिशन प्रक्रियेसाठी एक स्थिर वाहक प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते. .
VET एनर्जी कडील PECVD ग्रेफाइट बोट उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटसह तयार केली गेली आहे, ज्यामध्ये 15% पेक्षा कमी सच्छिद्रता आणि पृष्ठभाग खडबडीत Ra≤1.6μm आहे. उच्च मितीय स्थिरता आणि थर्मल चालकता एकसमान फिल्म डिपॉझिशन आणि वर्धित सेल कार्यक्षमता सुनिश्चित करते.
SGL कडून ग्रेफाइट सामग्री:
ठराविक पॅरामीटर: R6510 | |||
निर्देशांक | चाचणी मानक | मूल्य | युनिट |
सरासरी धान्य आकार | ISO 13320 | 10 | μm |
मोठ्या प्रमाणात घनता | DIN IEC 60413/204 | १.८३ | g/cm3 |
ओपन सच्छिद्रता | DIN66133 | 10 | % |
मध्यम छिद्र आकार | DIN66133 | १.८ | μm |
पारगम्यता | DIN 51935 | ०.०६ | सेमी²/से |
रॉकवेल कडकपणा HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
लवचिक शक्ती | DIN IEC 60413/501 | 60 | एमपीए |
संकुचित शक्ती | DIN 51910 | 130 | एमपीए |
यंगचे मॉड्यूलस | DIN 51915 | 11.5×10³ | एमपीए |
थर्मल विस्तार (20-200℃) | DIN 51909 | ४.२X१०-6 | K-1 |
थर्मल चालकता (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
हे विशेषतः उच्च-कार्यक्षमतेच्या सौर सेल उत्पादनासाठी डिझाइन केले आहे, जी 12 मोठ्या आकाराच्या वेफर प्रक्रियेस समर्थन देते. ऑप्टिमाइझ केलेले वाहक डिझाइन थ्रूपुटमध्ये लक्षणीय वाढ करते, उच्च उत्पन्न दर आणि कमी उत्पादन खर्च सक्षम करते.
आयटम | प्रकार | क्रमांक वेफर वाहक |
PEVCD ग्रेफाइट बोट - 156 मालिका | 156-13 ग्रेफाइट बोट | 144 |
156-19 ग्रेफाइट बोट | 216 | |
156-21 ग्रेफाइट बोट | 240 | |
156-23 ग्रेफाइट बोट | 308 | |
PEVCD ग्रेफाइट बोट - 125 मालिका | 125-15 ग्रेफाइट बोट | १९६ |
125-19 ग्रेफाइट बोट | २५२ | |
125-21 ग्रफाइट बोट | 280 |