PECVD प्रक्रियेसाठी ग्रेफाइट वाहक

PECVD प्रक्रियेसाठी ग्रेफाइट वाहकांमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

▪ उच्च शुद्धता: अत्यंत कमी अशुद्धता सामग्री, चित्रपटाची दूषितता टाळणे आणि चित्रपटाची गुणवत्ता सुनिश्चित करणे.

▪ उच्च घनता: उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाब PECVD वातावरणाचा सामना करण्यास सक्षम.

▪ चांगली मितीय स्थिरता: उच्च तापमानात लहान मितीय बदल, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करते.

▪ उत्कृष्ट थर्मल चालकता: वेफर ओव्हरहाटिंग टाळण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे स्थानांतरित करा.

▪ मजबूत गंज प्रतिकार: विविध संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा द्वारे धूप प्रतिकार करण्यास सक्षम.

▪ सानुकूलित सेवा: विविध आकार आणि आकारांचे ग्रेफाइट वाहक ग्राहकांच्या गरजेनुसार सानुकूलित केले जाऊ शकतात.