Цахиурт суурилсан GaN эпитакси

Бүтээгдэхүүний тодорхойлолт

Манай компани нь бал чулуу, керамик болон бусад материалын гадаргуу дээр CVD аргаар SiC бүрэх үйл явцын үйлчилгээг үзүүлдэг бөгөөд ингэснээр нүүрстөрөгч, цахиур агуулсан тусгай хий нь өндөр температурт урвалд орж, бүрсэн материалын гадаргуу дээр өндөр цэвэршилттэй SiC молекул, молекулыг гаргаж авах, SIC хамгаалалтын давхарга үүсгэдэг.

Гол онцлогууд:

1. Өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл:

1600 С хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл маш сайн хэвээр байна.

2. Өндөр цэвэршилт: өндөр температурт хлоржуулах нөхцөлд химийн уурын хуримтлалаар хийгдсэн.

3. Элэгдлийн эсэргүүцэл: өндөр хатуулаг, нягт гадаргуу, нарийн ширхэгтэй тоосонцор.

4. Зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс, органик урвалж.

CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд