PECVD Ачаалах тавиурыг буулгах графит тавиур

Богино тайлбар:

VET Energy-ийн PECVD ачих тавиур нь тунадасжуулах явцад вафельд найдвартай, жигд дэмжлэг үзүүлж, тунадасжуулах үйл явцын тууштай байдал, чанарыг сайжруулах зорилготой юм. Графит тавиур нь маш сайн халуунд тэсвэртэй тул PECVD камеруудын доторх хяналттай орчныг хадгалахад тусалдаг ба бохирдлын эрсдлийг бууруулж, процессын өндөр үр ашгийг хангадаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

VET Energy PECVD ачаалах тавиур нь PECVD (плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал) процесст зориулагдсан нарийн зөөгч юм. Энэхүү өндөр чанартай тунгаах графит тавиур нь өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай бал чулуун материалаар хийгдсэн. Энэ нь маш сайн өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээст тогтвортой байдал болон бусад шинж чанартай байдаг. Энэ нь PECVD процессын тогтвортой тээвэрлэгч платформоор хангаж, хальсны тунадасжилтын жигд, тэгш байдлыг хангаж чадна.

VET Energy PECVD ачаалах тавиурыг хагас дамжуулагч, фотоволтайк, LED болон бусад салбарт өргөнөөр ашигладаг. Жишээ нь:

▪ Хагас дамжуулагч: Цахиур, эпитаксиаль хавтан зэрэг хагас дамжуулагч материалын PECVD процесс.

▪ Фотоволтайк: Нарны зайн нимгэн хальсанд зориулсан PECVD процесс.

▪ LED: LED чипүүдэд зориулсан PECVD процесс.

Бүтээгдэхүүний давуу тал

▪Киноны чанарыг сайжруулах:Нэг төрлийн хальс буулгах, хальсны чанарыг сайжруулах.

▪Тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгах:Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй, PECVD төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгана.

▪Үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах:Өндөр чанартай бал чулуун тавиурууд нь хаягдлын хэмжээг бууруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулдаг.

SGL-ийн графит материал:

Ердийн параметр: R6510
Индекс	Туршилтын стандарт	Үнэ цэнэ	Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ	ISO 13320	10	мкм
Бөөн нягтрал	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	DIN66133	10	%
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ	DIN66133	1.8	мкм
Ус нэвтрүүлэх чадвар	DIN 51935	0.06	см²/с
Rockwell хатуулаг HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Тодорхой цахилгаан эсэргүүцэл	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Гулзайлтын хүч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Шахалтын бат бэх	DIN 51910	130	МПа
Янгийн модуль	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Дулааны тэлэлт (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафель боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөвөрлөгчийн загвар нь дамжуулах чадварыг ихээхэн нэмэгдүүлж, өндөр ургацын хувь хэмжээ, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах боломжийг олгодог.

Зүйл	Төрөл	Өргөст цаасны дугаар зөөгч
PEVCD Grephite завь - 156 цуврал	156-13 грефит завь	144
	156-19 Грефит завь	216
	156-21 Грефит завь	240
	156-23 бал чулуун завь	308
PEVCD Grephite завь - 125 цуврал	125-15 грефит завь	196
	125-19 грефит завь	252
	125-21 грфит завь	280