PECVD-д зориулсан графит субстрат вафель эзэмшигч

PECVD-ийн онцлох зурагт зориулсан графит субстрат вафель эзэмшигч

Богино тайлбар:

VET Energy-ийн графит субстрат эзэмшигч нь PECVD үйл явцын туршид ялтсын тэгш байдал, тогтвортой байдлыг хангаж, бохирдлоос сэргийлж, эвдрэлийн эрсдлийг багасгах зорилгоор бүтээгдсэн. Графит вафель эзэмшигч нь найдвартай, жигд платформоор хангадаг бөгөөд хавтанцар нь плазмд жигд өртөж, тууштай, өндөр чанартай тунадас үүсгэдэг. Дулаан дамжуулалт өндөр, онцгой бат бөх чанараараа энэхүү эзэмшигч нь үйл явцын ерөнхий үр ашиг, бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг сайжруулахад тусалдаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder нь PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) процесст зориулагдсан нарийн зөөгч юм. Энэхүү өндөр чанартай графит субстрат эзэмшигч нь өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээсийн тогтвортой байдал болон бусад шинж чанаруудтай, өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай бал чулуу материалаар хийгдсэн. Энэ нь PECVD процессыг тогтвортой дэмжих платформоор хангаж, хальсан тунадасжилтын жигд, тэгш байдлыг хангаж чадна.

VET Energy PECVD процессын графит өргүүрийг дэмжих хүснэгт нь дараах шинж чанаруудтай.

▪Өндөр цэвэршилт:маш бага бохирдлын агууламж, хальсыг бохирдуулахаас сэргийлж, хальсны чанарыг баталгаажуулна.

▪Өндөр нягтрал:өндөр нягтрал, өндөр механик хүч чадал, өндөр температур, өндөр даралтын PECVD орчныг тэсвэрлэх чадвартай.

▪Сайн хэмжээст тогтвортой байдал:өндөр температурт жижиг хэмжээсийн өөрчлөлт, процессын тогтвортой байдлыг хангах.

▪Маш сайн дулаан дамжуулалт:вафель хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд дулааныг үр дүнтэй дамжуулах.

▪Хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй:янз бүрийн идэмхий хий, плазмын нөлөөгөөр элэгдэлд тэсвэртэй.

▪Тохируулсан үйлчилгээ:Янз бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн бал чулууг дэмжих хүснэгтийг хэрэглэгчийн хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн өөрчилж болно.

Бүтээгдэхүүний давуу тал

▪Киноны чанарыг сайжруулах:Нэг төрлийн хальс буулгах, хальсны чанарыг сайжруулах.

▪Тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгах:Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй, PECVD төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгана.

▪Үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах:Өндөр чанартай бал чулуун тавиурууд нь хаягдлын хэмжээг бууруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулдаг.

SGL-ийн графит материал:

Ердийн параметр: R6510
Индекс	Туршилтын стандарт	Үнэ цэнэ	Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ	ISO 13320	10	мкм
Бөөн нягтрал	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	DIN66133	10	%
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ	DIN66133	1.8	мкм
Ус нэвтрүүлэх чадвар	DIN 51935	0.06	см²/с
Rockwell хатуулаг HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Тодорхой цахилгаан эсэргүүцэл	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Гулзайлтын хүч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Шахалтын бат бэх	DIN 51910	130	МПа
Янгийн модуль	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Дулааны тэлэлт (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафель боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөвөрлөгчийн загвар нь дамжуулах чадварыг ихээхэн нэмэгдүүлж, өндөр ургацын хувь хэмжээ, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах боломжийг олгодог.

Зүйл	Төрөл	Өргөст цаасны дугаар зөөгч
PEVCD Grephite завь - 156 цуврал	156-13 грефит завь	144
	156-19 Грефит завь	216
	156-21 Грефит завь	240
	156-23 бал чулуун завь	308
PEVCD Grephite завь - 125 цуврал	125-15 грефит завь	196
	125-19 грефит завь	252
	125-21 грфит завь	280