PECVD Graphite Wafer Support

Богино тайлбар:

Нарийвчлал, гүйцэтгэлд зориулагдсан VET Energy-ийн Graphite Wafer Support нь өндөр дулааны тогтвортой байдал, тогтвортой гүйцэтгэл чухал байдаг дэвшилтэт хавтанцар боловсруулахад ашиглахад тохиромжтой материал юм. Та хагас дамжуулагч хавтан эсвэл бусад нарийн ширхэгтэй субстраттай ажиллаж байгаа эсэхээс үл хамааран энэхүү өндөр чанарын бал чулуу нь таны процессын найдвартай байдал, бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулж, орчин үеийн үйлдвэрлэлийн зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болгоно.


Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

VET Energy PECVD процессын бал чулуун хавтан нь PECVD (плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал) процесст зориулагдсан үндсэн хэрэглээний материал юм. Энэхүү бүтээгдэхүүн нь өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээсийн тогтвортой байдал болон бусад шинж чанартай өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай графит материалаар хийгдсэн бөгөөд PECVD процессыг тогтвортой дэмжих платформоор хангаж, хальсны тунадасжилтын жигд, тэгш байдлыг хангах болно.

VET Energy графит хавтан тулгуурын "графит тулгуур" дизайн нь зөвхөн өрөмийг үр дүнтэй дэмжихээс гадна процессын тогтвортой байдлыг хангахын тулд өндөр температур, өндөр даралтын PECVD орчинд дулааны тогтвортой байдлыг хангаж чадна.

VET Energy PECVD процессын бал чулуун хавтан нь дараахь шинж чанартай байдаг.

Өндөр цэвэршилт:маш бага хольцтой, хальсыг бохирдуулахаас сэргийлж, хальсны чанарыг баталгаажуулна.

Өндөр нягтрал:өндөр нягтрал, өндөр механик хүч чадал, өндөр температур, өндөр даралтын PECVD орчныг тэсвэрлэх чадвартай.

Сайн хэмжээст тогтвортой байдал:процессын тогтвортой байдлыг хангахын тулд өндөр температурт жижиг хэмжээст өөрчлөлтүүд.

Маш сайн дулаан дамжуулалт:вафель хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд дулааныг үр дүнтэй дамжуулах.

Хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй:Төрөл бүрийн идэмхий хий, плазмын нөлөөгөөр элэгдлийг эсэргүүцэх чадвартай.

Тохируулсан үйлчилгээ:Төрөл бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн графит дэмжлэгийн хүснэгтийг хэрэглэгчийн хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн өөрчилж болно.

SGL-ийн графит материал:

Ердийн параметр: R6510

Индекс Туршилтын стандарт Үнэ цэнэ Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ ISO 13320 10 мкм
Бөөн нягтрал DIN IEC 60413/204 1.83 г/см3
Нээлттэй сүвэрхэг байдал DIN66133 10 %
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ DIN66133 1.8 мкм
Ус нэвтрүүлэх чадвар DIN 51935 0.06 см²/с
Rockwell хатуулаг HR5/100 DIN IEC60413/303 90 HR
Тодорхой цахилгаан эсэргүүцэл DIN IEC 60413/402 13 мкм
Гулзайлтын хүч DIN IEC 60413/501 60 МПа
Шахалтын бат бэх DIN 51910 130 МПа
Янгийн модуль DIN 51915 11.5×10³ МПа
Дулааны тэлэлт (20-200 ℃) DIN 51909 4.2X10-6 K-1
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (20℃) DIN 51908 105 Wm-1K-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафель боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөвөрлөгчийн загвар нь дамжуулах чадварыг ихээхэн нэмэгдүүлж, өндөр ургацын хувь хэмжээ, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах боломжийг олгодог.

бал чулуун завь
Зүйл Төрөл Өргөст цаасны дугаар зөөгч
PEVCD Grephite завь - 156 цуврал 156-13 грефит завь 144
156-19 Грефит завь 216
156-21 Грефит завь 240
156-23 бал чулуун завь 308
PEVCD Grephite завь - 125 цуврал 125-15 грефит завь 196
125-19 грефит завь 252
125-21 грфит завь 280
Бүтээгдэхүүний давуу тал
Компанийн үйлчлүүлэгчид

  • Өмнөх:
  • Дараа нь:

  • WhatsApp онлайн чат!