PECVD бал чулуун завь ямар үүрэгтэй вэ?

Бүрэх үйл явцын үйлдвэрлэлд ердийн цахиур хавтан зөөгч болохын хувьд,бал чулуун завьхийц нь тодорхой интервалтай олон завины өргүүртэй бөгөөд зэргэлдээх хоёр завины ялтсуудын хооронд маш нарийхан зайтай, хоосон хаалганы хоёр талд цахиур хавтан байрлуулсан байна.

Бал чулуун завины материал болох графит нь сайн дамжуулалт ба дулаан дамжуулалттай тул зэргэлдээх хоёр завины хооронд хувьсах гүйдлийн хүчдэлийг тавьж, эерэг ба сөрөг электродуудыг үүсгэдэг. Тасалгаанд тодорхой агаарын даралт, хий байгаа үед хоёр завины хооронд гэрэлтэх ялгадас үүсдэг. Гялалзсан ялгадас нь орон зайд SiH4 ба NH3 хийг задалж, Si ба N ионуудыг үүсгэж, SiNx молекулуудыг үүсгэх чадвартай. Энэ нь бүрэх зорилгодоо хүрэхийн тулд цахиурын хавтанцарын гадаргуу дээр хуримтлагддаг.

Нарны зайны цацрагийн эсрэг бүрхүүлийн тээвэрлэгчийн хувьд бал чулуун завины бүтэц, хэмжээ нь цахиур ялтсыг хувиргах үр ашиг, үйлдвэрлэлийн үр ашигт шууд нөлөөлдөг. Техникийн судалгаа, хөгжүүлэлтийн үр дүнд манай компани орчин үеийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, боловсронгуй технологийн дизайнерууд, туршлагатай үйлдвэрлэлийн ажилтнуудтай болсон бөгөөд материал нь импортын түүхий эд юм. Одоогийн байдлаар манай компанийн үйлдвэрлэж буй бал чулуун завь нь бүтээмж өндөртэй давуу талтай бөгөөд бүтэц нь энгийн бөгөөд графит завины хоорондох зай нь боломжийн учир цахиур хавтангийн бүрээсийг жигд болгож, цахиурын хавтангийн чанарыг сайжруулж, нарны эрчим хүчийг хувиргах үр ашиг өндөр. Шижин компанид одоо зах зээлд хэрэгцээтэй байгаа бүх төрлийн бэхний завь бий

21


Шуудангийн цаг: 2021 оны 4-р сарын 08
WhatsApp онлайн чат!