Кристал өсөлтийн зуух нь үндсэн тоног төхөөрөмж юмцахиурын карбидболор өсөлт. Энэ нь уламжлалт болор цахиурын зэрэглэлийн болор өсөлтийн зуухтай төстэй юм. Зуухны бүтэц нь тийм ч төвөгтэй биш юм. Энэ нь голчлон зуухны их бие, халаалтын систем, ороомог дамжуулах механизм, вакуум хүлээн авах, хэмжих систем, хийн замын систем, хөргөлтийн систем, хяналтын систем гэх мэтээс бүрдэнэ. Дулааны талбай, үйл явцын нөхцөл нь гол үзүүлэлтүүдийг тодорхойлдог.цахиурын карбидын болорчанар, хэмжээ, дамжуулах чадвар гэх мэт.
Нэг талаас, өсөлтийн үед температурцахиурын карбидын болормаш өндөр бөгөөд хянах боломжгүй. Тиймээс гол бэрхшээл нь үйл явц нь өөрөө юм. Гол бэрхшээлүүд нь дараах байдалтай байна.
(1) Дулааны талбайн хяналтад хүндрэлтэй байдал: Өндөр температурын хаалттай хөндийг хянах нь хэцүү бөгөөд хяналтгүй байдаг. Цахиурт суурилсан уусмалын шууд таталттай болор өсөлтийн өндөр түвшний автоматжуулалт, ажиглагдаж, хянах боломжтой болор өсөлтийн процесс бүхий уламжлалт төхөөрөмжөөс ялгаатай нь цахиурын карбидын талстууд нь битүү орон зайд 2000 хэмээс дээш өндөр температурт ургадаг бөгөөд өсөлтийн температур үйлдвэрлэлийн явцад нарийн хяналт тавих шаардлагатай бөгөөд энэ нь температурын хяналтыг хүндрүүлдэг;
(2) Кристал хэлбэрийг хянахад хүндрэлтэй байдаг: бичил хоолой, полиморф оруулга, мултрал болон бусад согогууд нь өсөлтийн явцад үүсэх хандлагатай байдаг бөгөөд тэдгээр нь бие биедээ нөлөөлж, хувьсан өөрчлөгддөг. Микро хоолойнууд (MP) нь хэд хэдэн микроноос хэдэн арван микрон хүртэл хэмжээтэй дамждаг хэлбэрийн согогууд бөгөөд энэ нь төхөөрөмжийн хамгийн аюултай согог юм. Цахиурын карбидын дан талстууд нь 200 гаруй өөр талст хэлбэрийг агуулдаг боловч цөөн тооны болор бүтэц (4H төрөл) нь үйлдвэрлэхэд шаардлагатай хагас дамжуулагч материал юм. Болор хэлбэрийн хувирал нь өсөлтийн явцад амархан явагддаг бөгөөд энэ нь полиморф оруулгын гажиг үүсгэдэг. Тиймээс цахиур-нүүрстөрөгчийн харьцаа, өсөлтийн температурын градиент, болор өсөлтийн хурд, агаарын урсгалын даралт зэрэг параметрүүдийг нарийн хянах шаардлагатай. Нэмж дурдахад, цахиурын карбидын нэг талст өсөлтийн дулааны талбарт температурын градиент байдаг бөгөөд энэ нь талст өсөлтийн явцад уугуул дотоод стресс, үүнээс үүдэн мултрах (Суурийн хавтгайн мултрал BPD, шураг мултрах TSD, ирмэгийн мултрал TED) хүргэдэг бөгөөд үүгээр дараагийн эпитакси болон төхөөрөмжүүдийн чанар, гүйцэтгэлд нөлөөлөх.
(3) Допингийн хяналтад хүндрэлтэй: Чиглэлийн допингтой дамжуулагч болор авахын тулд гадны хольцыг нэвтрүүлэхэд хатуу хяналт тавих ёстой;
(4) Удаан өсөлтийн хурд: Цахиурын карбидын өсөлтийн хурд маш удаан байна. Уламжлалт цахиурын материалыг болор саваа болгоход ердөө 3 хоног л шаардлагатай байдаг бол цахиурын карбидын болор саваа 7 хоног болдог. Энэ нь цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн үр ашиг бага, маш хязгаарлагдмал гарцад хүргэдэг.
Нөгөөтэйгүүр, цахиурын карбидын эпитаксиаль өсөлтийн параметрүүд нь тоног төхөөрөмжийн агаар нэвтрэхгүй байх, урвалын камер дахь хийн даралтын тогтвортой байдал, хий нэвтрүүлэх хугацааг нарийн хянах, хийн нарийвчлал зэрэг маш их шаарддаг. харьцаа, тунадасжилтын температурын хатуу зохицуулалт. Ялангуяа төхөөрөмжийн хүчдэлийн эсэргүүцлийн түвшинг сайжруулснаар эпитаксиаль хавтангийн үндсэн параметрүүдийг хянахад хүндрэл ихээхэн нэмэгдсэн. Түүнчлэн эпитаксиаль давхаргын зузаан нэмэгдэхийн хэрээр эсэргүүцлийн жигд байдлыг хэрхэн хянах, согогийн нягтыг багасгахын зэрэгцээ зузааныг хангах нь бас нэг томоохон сорилт болоод байна. Цахилгаанжуулсан хяналтын системд янз бүрийн параметрүүдийг үнэн зөв, тогтвортой зохицуулахын тулд өндөр нарийвчлалтай мэдрэгч ба идэвхжүүлэгчийг нэгтгэх шаардлагатай. Үүний зэрэгцээ хяналтын алгоритмыг оновчтой болгох нь маш чухал юм. Цахиурын карбидын эпитаксиаль өсөлтийн үйл явцын янз бүрийн өөрчлөлтөд дасан зохицохын тулд санал хүсэлтийн дохионы дагуу бодит цаг хугацаанд хяналтын стратегийг тохируулах чадвартай байх шаардлагатай.
Гол бэрхшээлүүдцахиурын карбидын субстратүйлдвэрлэл:
Шуудангийн цаг: 2024 оны 6-р сарын 07-ны хооронд