Үрийн шингэн гарах үедбизнесийн мэдээ, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн төвөгтэй байдлыг ойлгох нь зайлшгүй шаардлагатай. Хагас дамжуулагч хавтан нь энэ салбарт чухал бүрэлдэхүүн хэсэг боловч төрөл бүрийн хольцоос бохирддог. Атом, органик бодис, металл элементийн ион, исэл зэрэг эдгээр бохирдуулагч нь үйлдвэрлэлийн процесст нөлөөлж болно.
БөөмүүдПолимер болон сийлбэрийн хольц зэрэг нь вафельны гадаргуу дээр шингээх молекул хоорондын хүчинд итгэх нь төхөөрөмжийн фотолитографид нөлөөлдөг.органик хольцГомо арьсны тос, машины тос зэрэг хальсан дээр хальсалж, цэвэрлэхэд саад болдог.металл элементийн ионуудтөмөр, хөнгөн цагаан зэрэг нь ихэвчлэн металл элементийн ионы цогцолбор үүсэх замаар арилдаг.Оксидүйлдвэрлэх үйл явцад саад учруулдаг бөгөөд ихэвчлэн шингэрүүлсэн фторын хүчилд дэвтээж арилгадаг.
химийн аргууднь ихэвчлэн хагас дамжуулагч хавтанцарыг цэвэрлэж, сэгсэрдэг. уусмалд живэх, механик гуужуулагч зэрэг чийгийн химийн цэвэрлэгээний техник давамгайлж байна. Дуунаас хурдан болон мегасоник цэвэрлэх арга нь бохирдлыг арилгах үр дүнтэй аргыг санал болгодог. Хуурай химийн цэвэрлэгээ, үүнд плазмын болон хийн фазын технологи орно, мөн хагас дамжуулагч хавтанцар цэвэрлэх процесст үүрэг гүйцэтгэдэг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 10-р сарын 29