Дээр дурдсанчлан энэ нь ердийн зүйл юм
Эхний хагас:
▪ Халаалтын элемент (халаалтын ороомог):
зуухны хоолойн эргэн тойронд байрладаг, ихэвчлэн эсэргүүцлийн утаснуудаар хийгдсэн, зуухны хоолойн дотор талыг халаахад ашигладаг.
▪ Кварц хоолой:
Өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай, химийн идэвхгүй хэвээр байх өндөр цэвэршилттэй кварцаар хийгдсэн халуун исэлдэлтийн зуухны гол хэсэг.
▪ Хийн тэжээл:
Зуухны хоолойн дээд буюу хажуу талд байрладаг бөгөөд хүчилтөрөгч эсвэл бусад хийг зуухны хоолойн дотор талд тээвэрлэхэд ашигладаг.
▪ SS Хоног:
кварцын хоолой ба хийн хоолойг холбосон эд ангиуд нь холболтын нягт, тогтвортой байдлыг хангадаг.
▪ Хийн тэжээлийн шугам:
MFC-ийг хийн дамжуулах порт руу холбосон хоолойнууд.
▪ MFC (Mass Flow Controller) :
Шаардлагатай хийн хэмжээг нарийн зохицуулахын тулд кварц хоолойн доторх хийн урсгалыг хянадаг төхөөрөмж.
▪ Агааржуулалт:
Зуухны хоолойн доторх яндангийн хийг төхөөрөмжийн гадна талд гаргахад ашигладаг.
Доод хэсэг:
▪ Эзэмшигч дэх цахиурын вафель:
Цахиурын вафель нь исэлдэлтийн үед жигд дулааныг хангахын тулд тусгай Холдерт байрладаг.
▪ Өрөөний тавиур:
Цахиурын өрөмийг барьж, үйл ажиллагааны явцад цахиурын хавтан тогтвортой байлгахад ашигладаг.
▪ Тавиур:
Ихэвчлэн өндөр температурт тэсвэртэй материалаар хийгдсэн цахиурын ялтсын тавиур бүхий бүтэц.
▪ Лифт:
Цахиурт өрөмийг автоматаар ачих, буулгах зориулалттай вафель эзэмшигчдийг кварц хоолойд оруулах, гаргахад ашигладаг.
▪ Өрөө зөөгч робот:
зуухны хоолойн төхөөрөмжийн хажуу талд байрлах бөгөөд энэ нь хайрцагнаас цахиур ялтсыг автоматаар салгаж, зуухны хоолойд байрлуулах эсвэл боловсруулсны дараа зайлуулахад ашиглагддаг.
▪ Кассет хадгалах тойруулга:
Кассет хадгалах тойруулга нь цахиурын хавтан агуулсан хайрцгийг хадгалахад ашиглагддаг бөгөөд робот руу нэвтрэхийн тулд эргүүлэх боломжтой.
▪ Вафель кассет:
вафель кассет нь боловсруулагдах цахиур ялтсуудыг хадгалах, шилжүүлэхэд ашиглагддаг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 22