Дээр дурдсанчлан энэ нь ердийн зүйл юм
Эхний хагас:
Халаалтын элемент (халаалтын ороомог): зуухны хоолойн эргэн тойронд байрладаг, ихэвчлэн эсэргүүцлийн утсаар хийгдсэн, зуухны хоолойн дотор талыг халаахад ашигладаг.
Кварц хоолой: Өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай, химийн идэвхгүй хэвээр байх өндөр цэвэршилттэй кварцаар хийгдсэн халуун исэлдүүлэх зуухны гол хэсэг.
Хийн тэжээл: Зуухны хоолойн дээд эсвэл хажуу талд байрладаг бөгөөд хүчилтөрөгч эсвэл бусад хийг зуухны хоолойн дотор талд тээвэрлэхэд ашигладаг.
SS Хоног: кварц хоолой, хийн хоолойг холбосон эд ангиуд нь холболтын нягт, тогтвортой байдлыг хангадаг.
Хийн тэжээлийн шугам: MFC-ийг хий дамжуулах хийн хангамжийн порт руу холбосон хоолой.
MFC (Mass Flow Controller) : Шаардлагатай хийн хэмжээг нарийн зохицуулахын тулд кварц хоолойн доторх хийн урсгалыг хянадаг төхөөрөмж.
Агааржуулалт: Зуухны хоолойн доторх яндангийн хийг төхөөрөмжийн гадна талд гаргахад ашигладаг.
Доод хэсэг
Эзэмшигч дэх цахиурын вафель: Цахиурын вафель нь исэлдэлтийн үед жигд дулааныг хангах үүднээс тусгай зориулалтын савлагаанд байрладаг.
Өргөст ялтсын тавиур: Цахиурын ялтсыг барьж, үйл явцын явцад цахиурын хавтанг тогтвортой байлгахад ашигладаг.
Суурин: Ихэвчлэн өндөр температурт тэсвэртэй материалаар хийгдсэн, цахиурын ялтсын тавиур бүхий бүтэц.
Лифт: Цахиур ялтсуудыг автоматаар ачих, буулгах зориулалттай кварц хоолойд өргүүрийн тавиуруудыг өргөх, гаргахад ашигладаг.
Өргөст ялтас шилжүүлэх робот: зуухны хоолойн төхөөрөмжийн хажуу талд байрлах бөгөөд энэ нь хайрцагнаас цахиур ялтасыг автоматаар салгаж, зуухны хоолойд байрлуулах эсвэл боловсруулсны дараа арилгахад ашиглагддаг.
Кассет хадгалах тойруулга: Кассет хадгалах тойруул нь цахиурын хавтан агуулсан хайрцгийг хадгалахад ашиглагддаг бөгөөд робот руу нэвтрэхийн тулд эргүүлэх боломжтой.
Өргөст ялтсын кассет: Өргөст ялтсын кассет нь боловсруулах цахиурын ялтсуудыг хадгалах, шилжүүлэхэд ашиглагддаг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 22