ХЭРХЭН ЦАХИРХАН ӨРӨӨС ХИЙХ ВЭ
A ваферЭнэ нь ойролцоогоор 1 миллиметр зузаантай цахиурын зүсмэл бөгөөд техникийн хувьд маш их шаарддаг процедурын ачаар туйлын тэгш гадаргуутай. Дараагийн хэрэглээ нь аль талст өсгөх аргыг ашиглахыг тодорхойлдог. Жишээлбэл, Чехральскийн процесст поликристалл цахиур хайлуулж, харандаа шиг нимгэн үрийн талстыг хайлсан цахиурт дүрнэ. Дараа нь үрийн талстыг эргүүлж, аажмаар дээш татна. Маш хүнд колосс, монокристал гарч ирнэ. Өндөр цэвэршилттэй нэмэлт бодисуудын жижиг хэсгүүдийг нэмснээр монокристалын цахилгаан шинж чанарыг сонгох боломжтой. Талстыг хэрэглэгчийн тодорхойлолтын дагуу допинг хийж, дараа нь өнгөлж, зүсэж зүснэ. Төрөл бүрийн нэмэлт үйлдвэрлэлийн алхмуудыг хийсний дараа үйлчлүүлэгч өөрийн заасан өрөмийг тусгай савлагаанд хүлээн авдаг бөгөөд энэ нь үйлчлүүлэгчид өрөмийг үйлдвэрлэлийн шугамандаа шууд ашиглах боломжийг олгодог.
CZOCHRALSKI PROCESS
Өнөөдөр цахиурын монокристалуудын ихээхэн хэсгийг Чохральскийн процессын дагуу ургуулдаг бөгөөд энэ нь өндөр цэвэршилттэй поликристалл цахиурыг гиперцэвэр кварцын тигелд хайлуулж, нэмэлт бодис (ихэвчлэн B, P, As, Sb) нэмдэг. Нимгэн, нэг талст үрийн талстыг хайлсан цахиурт дүрнэ. Дараа нь энэ нимгэн талстаас том CZ болор үүсдэг. Хайлсан цахиурын температур ба урсгалын нарийн зохицуулалт, болор ба тигелийн эргэлт, мөн болор татах хурд нь маш өндөр чанарын монокристалл цахиурын ембүү үүсгэдэг.
Хөвөгч БҮСИЙН АРГА
Хөвөгч бүсийн аргын дагуу үйлдвэрлэсэн монокристалууд нь IGBT гэх мэт хагас дамжуулагчийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд ашиглахад тохиромжтой. Цилиндр хэлбэртэй поликристал цахиурын ембүү нь индукцийн ороомог дээр суурилагдсан. Радио давтамжийн цахилгаан соронзон орон нь савааны доод хэсгээс цахиур хайлахад тусалдаг. Цахилгаан соронзон орон нь индукцийн ороомгийн жижиг нүхээр дамждаг цахиурын урсгалыг доор байрлах монокристал руу (хөвөгч бүсийн арга) зохицуулдаг. Ихэвчлэн B эсвэл P агуулсан допинг нь хийн бодис нэмэх замаар хийгддэг.
Шуудангийн цаг: 2021 оны 6-р сарын 07